Gebraucht NORDSON / MARCH AP-1500 #293763751 zu verkaufen

ID: 293763751
Weinlese: 2017
Plasma system Chamber maximum volume: 442 liters (27,000 in³) Electrode shelfs: (2) Powered (2) Ground RF Power: Standard wattage: 2000 W Frequency: 40 KHz Gas control: (4) MFCs Control and interface: Software control: EPC with PC-Based touch screen interface Remote interface: SMEMA, SECS/GEM Vacuum pump: Dry pump: 65 cfm (50/60 Hz) Electrodes: Variable electrode configurations: Direct Downstream Process gas fitting size and type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube Process gas purity: Industrial grade or better Process gas pressure: 0.69 bar (10 psi) min. to 1 bar (15 psi) max Purge gas fitting size and type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube Purge gas purity: Industrial grade N2/CDA Purge gas pressure: 2 bar (30 psi) min to 5.5 bar (80 psi) max Pneumatic valves fitting size and type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube Pneumatic gas purity: CDA Oil free Dewpoint: ≤7°C (45°F) Particulate size: <5μm Pneumatic gas pressure: 3.45 bar (50 psi) min to 5.5 bar (80 psi) max Exhaust: 38 mm (1.5 in.) OD Pipe flange SEMI: E10, S2/S8 Gas generators: Nitrogen, hydrogen. Chiller Scrubber. 2017 vintage.
NORDSON/MARCH AP-1500 ist eine führende Ätz-/Aschermaschine, die für fortschrittliche Oberflächenbehandlungsprozesse in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie eingesetzt wird. Mit seiner Spitzentechnologie und Präzisionstechnik ist MARCH AP-1500 darauf ausgelegt, außergewöhnliche Leistung bei Ätz-, Asche- und Oberflächenmodifizierungsanwendungen zu bieten. Dieses vielseitige Werkzeug bietet eine breite Palette von Fähigkeiten, um die sich entwickelnden Anforderungen von Hightech-Fertigungsprozessen zu erfüllen. NORDSON AP-1500 ist mit fortschrittlicher Plasmabearbeitungstechnologie ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über Plasmaparameter wie Gasflussrate, Leistungsdichte und Prozesszeit ermöglicht. Diese Steuerung ermöglicht es Anwendern, den Ätz-/Ascheprozess auf die gewünschten Oberflächeneigenschaften und Spezifikationen mit hoher Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit abzustimmen. Die Plasmaquelle des Systems erzeugt ein Plasma hoher Dichte, das für eine effiziente und gleichmäßige Verarbeitung über die Substratoberfläche unerlässlich ist. Eines der Hauptmerkmale von AP-1500 ist seine proprietäre HF-Stromversorgungseinheit, die eine stabile und zuverlässige Plasmaanregung für gleichbleibende Leistung gewährleistet. Das HF-Netzteil ist optimiert, um hohe Leistung zu liefern und gleichzeitig eine hervorragende Stabilität und Betriebszeit zu erhalten, was entscheidend für die Erzielung konsistenter Verarbeitungsergebnisse in einer Produktionsumgebung ist. Die Stromverteilung und das passende Netzwerk der Maschine wurden entwickelt, um die Energieübertragungseffizienz zu maximieren und Verluste zu minimieren, was zu einer verbesserten Prozesswiederholbarkeit und reduzierten Betriebskosten führt. NORDSON/MARCH AP-1500 ist mit einer hochmodernen Prozesskammer ausgestattet, die für die Hochdurchsatzbearbeitung von Substraten mit unterschiedlichen Größen und Materialien ausgelegt ist. Die Kammer verfügt über ein benutzerfreundliches Design mit einfachem Zugang für Wartung und Reinigung, so dass ein effizienter Werkzeugbetrieb und minimale Ausfallzeiten möglich sind. Das Werkzeug beinhaltet auch erweiterte Gasförder- und Mischfähigkeiten, um eine präzise Kontrolle über die Chemie des Plasmaprozesses zu gewährleisten und eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen zu ermöglichen. Neben seinem robusten Hardwaredesign wird MARCH AP-1500 durch eine umfassende Softwareschnittstelle unterstützt, die eine intuitive Prozesssteuerung und Echtzeitüberwachung bietet. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche ermöglicht es den Betreibern, komplexe Prozessrezepte einfach einzurichten und auszuführen, Prozessparameter on-the-fly anzupassen und kritische Modelldiagnosen in Echtzeit zu überwachen. Die Software unterstützt auch Datenprotokollierungs- und Analysefunktionen, die es Anwendern ermöglichen, die Prozessleistung zu verfolgen, Rezepte zu optimieren und die Prozesskontrolle im Laufe der Zeit konsistent zu halten. Insgesamt setzt NORDSON AP-1500 Ätz-/Aschermaschinen einen neuen Standard für fortschrittliche Plasmabearbeitungstechnologie in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie. Mit seinen modernsten Funktionen, der Präzisionstechnik und der benutzerfreundlichen Oberfläche bietet AP-1500 eine leistungsstarke Lösung für High-Tech-Fertigungsanwendungen, die eine außergewöhnliche Prozesskontrolle, Zuverlässigkeit und Leistung erfordern. Ob für Forschung und Entwicklung oder in Großserien - NORDSON/MARCH AP-1500 ist auf die anspruchsvollen Anforderungen der modernen Halbleiterverarbeitung mit unübertroffener Präzision und Effizienz ausgelegt.
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