Gebraucht NORDSON MARCH AP-300 #293652419 zu verkaufen

NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher ist eine effiziente und schnell wirkende Benchtop-Dampfätz-/Ascheausrüstung zum Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben, MEMS und anderen Substratmaterialien wie Si, SiO2 und SiN. Der MARCH NORDSON MARCH AP 300 Ätzer/Ascher ist eine ideale Maschine zur Bearbeitung von Off-Site-Forschung und Prototyping-Proben. Es kombiniert die Effizienz eines Ofenätz-/Aschesystems mit der Vielseitigkeit eines Nassätzmittels. Die MARCH AP-300 Etcher/Asher ist auf der NORDSON MARCH E100 Plattform aufgebaut und eignet sich aufgrund der vielfältigen Prozesse für Forschungs- und Entwicklungsorganisationen. Der MARCH AP 300 kann Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm mit Hilfe eines Glockenglasgehäuses aus Edelstahl verarbeiten, das bis zu 29,5 "Hg Vakuumdruck erzeugen kann. Dies ermöglicht ein gleichmäßiges und wiederholbares Ätzen und Aschen von Proben ohne Lastschlösser oder Backstationen. Zur Regelung der Kammertemperatur und des Drucks wird ein einziger zyklischer Prozessregler verwendet. Der Controller verwendet mit seiner intuitiven Softwareschnittstelle die neueste Mikroprozessortechnologie, die anpassbare und wiederholbare Prozesse ermöglicht. Der MARCH NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher ist zudem mit Sicherheitsmerkmalen wie Bedienerverriegelung, Notabschaltung, Bondschalter und Vakuumüberwachung ausgestattet. Für effizientes Aschen verwendet der MARCH NORDSON MARCH AP 300 ein Klappschieber, das ein schnelles und einfaches Umschalten zwischen Vorder- und Rückseitenasche ermöglicht. Der integrierte Waferträger und das Spannfutter mit Niveauunterstützungsmaschine garantieren eine sichere Ätzumgebung für konsistente Ergebnisse und Wiederholbarkeit. Die MARCH AP-300 wird mit einer Vielzahl von Rezeptbearbeitungsoptionen geliefert. Es ist so konzipiert, dass Benutzer Prozessrezepte erstellen können, indem sie Druck, Zeit, Temperatur und Durchflussmenge mithilfe vordefinierter Phasenparameter einstellen. So können Anwender ihre Prozesse schnell und präzise auf ihre Anforderungen abstimmen. Die MARCH AP 300 wird auch mit einem patentierten NORDSON MARCH Anorganic Oxide Removal (M-IOR) -Werkzeug geliefert. Dieses Gut verschwendet keine Zeit beim Abscheiden von Benetzungsschichten - für perfekte Oxidhaftung und -ätzung. Insgesamt ist NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher ein fortschrittliches, Bench-Top-Ätz- und Aschemodell, das eine unübertroffene Präzision und Konsistenz in der Halbleiter-, MEM- und anderen Substratverarbeitung bietet. Seine hochgradig anpassbaren und wiederholbaren Prozesse machen es zur idealen Ausrüstung für Forschungs- und Entwicklungsorganisationen.