Gebraucht NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924 zu verkaufen

MARCH AP-600/300 ist ein Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist für die Herstellung von Komponenten konzipiert, die hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse erfordern. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über eine Vakuumfähigkeit von bis zu 10-6 Torr, so dass der Benutzer Material präzise auf dem Substrat mit minimalem Risiko von Kontamination oder Defekt ablegen kann. Der Ätzer/Ascher verfügt außerdem über einen Dualfrequenz-Plasmagenerator mit Frequenzen zwischen 600 und 300 kHz, der einen Prozess hoher Ionendichte mit einer maximalen Dauerleistung von bis zu 15 KW erzeugt. NORDSON AP-600/300 ist mit einem digitalen Touchscreen-Controller ausgestattet, der eine benutzerfreundliche, intuitive Steuerung der Funktionen des Ätzers/Aschers ermöglicht. Der Benutzer kann die Art des geätzten Prozesses auswählen, einschließlich CF4, CF2Cl2, LASMA, N2O, O2 und H2, und das System passt automatisch die Energie- und Druckeinstellungen für jeden Prozess an. Eine breite Palette von Parametereinstellungen kann programmiert werden, so dass eine präzise Kontrolle über Ätzraten und andere Prozessvariablen möglich ist. Das präzise Ätzen und Aschen von NORDSON/MARCH AP-600/300 ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, einschließlich hochpräziser V-Nuten, Leiterbahnen, Gateätzen und Durchgangslöchern. Der Ätz-/Ascheprozess kann für eine Vielzahl von Materialien, darunter Polysilizium, Aluminium, SiO2, Si3N4 und Haftschichten, exakt in der X-Y-Ebene versetzt werden. Darüber hinaus ist der Ätzer/Ascher mit einer Reihe von Zubehörteilen kompatibel, einschließlich einer Reihe von universellen Programmiervorlagen, einer Vielzahl von prozessspezifischen Probenschalen und einer Reihe von automatisierten Be- und Entladerarmen. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über ein verzerrungsfreies Abbildungssystem, das dem Anwender eine klare, detaillierte Ansicht der zu bearbeitenden Substrate ermöglicht. Insgesamt ist MÄRZ AP-600/300 ein ausgezeichneter etcher/asher für Präzisionshalbleiterfertigungsanwendungen. Mit einer Vielzahl von Prozesseinstellungen, automatisierten Be-/Entladearmen und einem verzerrungsfreien Bildgebungssystem ist dieser Ätzer/Ascher so konzipiert, dass er den Anforderungen selbst komplexester Ätz- und Veraschungsanforderungen gerecht wird.