Gebraucht NORDSON MARCH FlexTRAK #9299708 zu verkaufen

NORDSON MARCH FlexTRAK ist eine fortschrittliche Ätz- oder Ätz-/Waschplattform für Forschung, Entwicklung und Erprobung neuer Ätz-, Reinigungs- und Waschprozesse. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozesschemien zur präzisen Einstellung und Kontrolle über Ätztiefe, Ätzzeit, Ätzkontamination, Ätzdefektivität und Ätzraten zu handhaben. Der MARCH FlexTRAK steuert alle Ätzparameter einschließlich Ätzreaktordruckbeaufschlagung, Wafer-Vorwärmsystem, Plasmagasfluss, Energiezufuhr zu den Elektroden, einstellbare HF-Leistung und einstellbares Ätzlösungsvolumen. Mit der NORDSON MARCH FlexTRAK Plattform können anwendungsspezifische Rezepte erstellt werden, die die präzise Steuerung aller Parameter für optimale Ätzergebnisse nutzen. FlexTRAK unterstützt eine Vielzahl von Prozesschemien in seinem innovativen, einfach zu bedienenden Design. Die Ätzprozesschemie ist voll modular, d.h. der Anwender kann während des Ätzprozesses Chemie hinzufügen oder entfernen. Dies ist besonders nützlich bei der Entwicklung unterschiedlichster Prozessrezepte, da der Benutzer leicht zwischen verschiedenen Chemien wechseln kann. NORDSON MARCH FlexTRAK besteht aus einem Einkammer-Vakuumätzer/-wascher, einer Reihe integrierter Prozesskammern und einem digitalen Touchscreen-Bedienfeld, das den gesamten Ätz-, Reinigungs- und Trocknungsprozess steuert. Die Ätzkammer wird mit einer Hochfrequenz-Stromversorgung versorgt, die eine präzise Steuerung der Ätzrate und Ätztiefe ermöglicht. Die Ätzkammer enthält auch einen eingebauten Feuchtigkeitssensor, um ein gleichmäßiges Ätzen über die Oberfläche des Substrats zu gewährleisten. Die integrierten Prozesskammern bieten eine einstellbare Mischung aus Prozesschemikalien, um neue Rezepturen zu entwickeln, Reinigungs- und Nachätzprozesse zu ermöglichen und eine optimierte Ätzumgebung zu schaffen. Die eingebauten Sensoren und Steuerungssysteme sorgen für ein optimales Ätzprofil. Schließlich verfügt FlexTRAK über eine leistungsstarke Benutzeroberfläche zur Verwaltung aller Ätzparameter. Das Bedienfeld ermöglicht die Einstellung aller Ätzparameter, einschließlich Ätztiefen, Ätzzeiten, Temperatur, Gasfluss und HF-Energie. Es verfügt auch über eine erweiterte Modellierungs- und Datenerfassungsfunktion, um eine genaue Entwicklung einzigartiger Ätzprozesse zu ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die MARCH Software-Suite die einfache Integration von Ätz- und Reinigungsprozessen in einer einzigen Anwendung, wodurch die Prozessentwicklung gestrafft wird. Insgesamt ist NORDSON MARCH FlexTRAK eine leistungsstarke Ätz-, Reinigungs- und Waschplattform, die benutzerfreundliche Steuerungen, ein breites Spektrum an Prozesschemien, einstellbare Ätzparameter sowie eine Reihe integrierter Sensoren und Diagnostika zur präzisen Steuerung von Ätzprozessen bietet. Seine einfach zu bedienenden Bedienelemente und leistungsstarken Funktionen machen es zu einer idealen Plattform für eine Vielzahl von Ätzanwendungen.