Gebraucht NORDSON / MARCH MaxVIA #9397009 zu verkaufen
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NORDSON/MARCH MaxVIA ist eine fortschrittliche automatisierte Ätz- und Aschermaschine für Halbleiterverpackungen, Mikroelektronik und verwandte Industrien. Es verwendet fortschrittliches Plasmaätzen, um präzise Merkmale in Dünnschichtsubstraten zu erzeugen. MARCH MaxVIA ist eine erweiterte Version des bekannten MaxFlex Plasma Systems von Nordsom mit erhöhten Ätzraten und überlegener Genauigkeit. NORDSON MaxVIA verfügt über eine Hochdurchsatz-Plasmaätzeinheit mit hoher Präzision, die für den Produktionseinsatz ausgelegt ist. Es ist in der Lage, mehrere Schichten aus einer Vielzahl von Materialien zu ätzen, einschließlich Photolack, SiO2, Si3N4 und Quarz. Seine fortschrittliche Plasmaquelle besteht aus zwei Flachplatten-Plasmaquellen, die ein kontrollierbares, fokussiertes, tiefätzendes Plasma für feine Strukturen und Schaltungen mit hohem Durchsatz und hohen Ätzraten bereitstellen. Die Maschine umfasst mehrere intelligente Konstruktionsmerkmale, wie ein fortschrittliches Feedback-Steuerungstool, das eine hohe Ätzgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Es verfügt über integrierte optische Scanfunktionen, die die Fehlausrichtung zwischen den Sequenzen erheblich reduzieren und eine präzise Registrierung und Mustergenauigkeit der Funktionen ermöglichen. MaxVIA verfügt zudem über fortschrittliche Sicherheitssysteme wie eine komplette, integrierte Edelstahl-Vakuumkammer mit statischem Sauberkeitssensor und ein starkes Vakuumschloss mit elektromechanischen Verriegelungen. Dies gewährleistet die Bedienersicherheit sowie eine saubere kontaminationsfreie Substratverarbeitungsumgebung. NORDSON/MARCH MaxVIA kann entweder manuell oder vollautomatisch betrieben werden, so dass Benutzer die beste Verarbeitungskonfiguration für ihre Produktionsanforderungen auswählen können. Es verfügt außerdem über ein optionales robotisches Pre-Alignment-Asset, mit dem mehrere Substrate zur präzisen Platzierung relativ zur Quelle und Zielposition in das Modell geladen werden können. MARCH MaxVIA ist eine leistungsstarke, zuverlässige und flexible Lösung für fortschrittliche Ätz- und Aschesysteme, die für die Herstellung von hochpräzisen Strukturen, Merkmalen und Schaltungen in der Mikroelektronik- und Halbleiterverpackungsindustrie benötigt werden. Die integrierten Sicherheitssysteme, die automatischen Steuerungsfunktionen und das ergonomische Design bieten eine effiziente und sichere Produktionsumgebung mit vielen Vorteilen für den Anwender.
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