Gebraucht NORDSON MARCH ProVIA #9374850 zu verkaufen

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ID: 9374850
Weinlese: 2015
Plasma system LESSON ELECTRIC C184T14FC3C Vacuum pump (Part no: 190119.39) SHANGHAI KANSA ICW-8-March Industrial cooler 2015 vintage.
NORDSON MARCH ProVIA ist eine Trockenätzmaschine für die Halbleiter- und optoelektronische Verarbeitung. ProVIA wird zum Tiefätzen, Planarisieren und Strukturieren unterschiedlichster Materialien von der Siliziumscheibe bis zum Glas eingesetzt. Es hat eine partikelarme Umgebung, eine Vakuumumgebung und eine hohe Verarbeitungsleistung. NORDSON MARCH ProVIA ist eine zuverlässige, stabile und hochpräzise Ausrüstung. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen hochkonfigurierbar und umfasst eine abstimmbare HF-Stromversorgung und eine Vakuumkammer. Die Hauptkomponenten des Systems sind eine Prozesskammer, Load/Unload-Module, HF-Induktionsstromquelle, Hardware und Prozessleitsysteme. Die ProVIA Prozesskammer ist mit 40 offenen Anschlüssen und 5 Probensätzen ausgestattet. Es bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei der Planarisierung und ermöglicht wiederholbare Ergebnisse. Die fortschrittliche isotherme Temperaturregelung ermöglicht eine Temperaturregelung über das Substrat bis zu 800 ° C. Es gibt auch eine ungleichmäßige Gasverteilungsmaschine, die lange Prozesszeiten und gleichmäßige Ätzraten über das Substrat liefert. Das HF-Netzteil von NORDSON MARCH ProVIA ist so konzipiert, dass es auch bei der Verarbeitung von stark belasteten Wafern stabil bleibt. Sein fortschrittliches RF-Steuerungstool bietet mehrere Tuningparameter, wie Überschwingen und Hysterisieren, die eine ausgezeichnete Kontrolle über Prozessgleichmäßigkeit und Ätzrate bieten. Das Asset verfügt außerdem über ein hochgenaues Monitor/Allow-Modell, mit dem der Benutzer die Prozessparameter in Echtzeit anpassen kann. ProVIA ist auch für schnelle Umlaufzeiten konzipiert, mit einem kurzen Bearbeitungszyklus von nur 30 Sekunden. Es verfügt über eine kostengünstige Wartung, wobei die meisten Module und Teile leicht ausgetauscht werden. Es ist effizient und ergonomisch freundlich und benötigt einen minimalen Betriebsraum. Seine schnelle Verarbeitungszeit und mehrere Beispielsätze machen es zu einer großartigen Option für Anwendungen, die einen hohen Durchsatz erfordern. NORDSON MARCH ProVIA ist eine umfassende und zuverlässige Trockenätzlösung für Tiefenätz-, Planarisierungs- und Musteranwendungen durch ein breites Materialspektrum. Es bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, lange Verarbeitungszeiten und schnelle Umlaufzeiten und ist somit eine ideale Wahl für die Halbleiter- und optoelektronische Verarbeitung.
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