Gebraucht NOVELLUS Aura 2000LL #293594774 zu verkaufen

NOVELLUS Aura 2000LL ist eine hochmoderne Ätz-/Ascherlösung für den Einsatz in Halbleiterfabriken. Aura 2000LL wurde aus langlebigen Materialien und fortschrittlicher Technologie hergestellt und bietet eine schnelle und präzise Verarbeitung von Substraten in einer Vielzahl von körnigen Größen. Seine Prozesskammer hat einen Innendurchmesser von 500mm, um große Substrate aufzunehmen, und seine optimierte räumliche Gleichmäßigkeit des Ätzens/Aschens hilft, hervorragende Prozessergebnisse zu gewährleisten. Das beiliegende Maschinendesign von NOVELLUS Aura 2000LL funktioniert effizient über mehrere Ätzquellen, Entlüftungspartikel und Lüftungssysteme. Es bietet auch eine kostengünstige Wartung, im Vergleich zu herkömmlichen Ätzkonfigurationen, aufgrund seiner Top-Down-Veraschungsfunktion. Darüber hinaus bietet das Tool eine programmierbare Mehrzonen-Substratsteuerung, die maximale Prozessflexibilität ermöglicht. Insbesondere ist die Maschine mit drei Ätzquellen, einer UKW-Quelle, einer Mikrowellenquelle und einer Breitstrahlquelle ausgestattet. Die UKW-Quelle ist die am häufigsten verwendete und kann eine Mehrzonenfähigkeit zum Ätzen kleiner oder großer Substrate bereitstellen, ohne den Kammerdurchmesser reduzieren zu müssen. Die Vielseitigkeit dieser Ätzquelle ermöglicht es Aura 2000LL, eine breite Palette von Materialien und Ätztiefen genau zu verarbeiten. Darüber hinaus unterstützt sein hochfrequenter Hochleistungsbetrieb die Aufrechterhaltung hoher Prozessgleichförmigkeiten und eignet sich somit für den Einsatz in großvolumigen Produktbewegungen. Ebenso bietet die Mikrowellenquelle auf NOVELLUS Aura 2000LL einen Multi-Mode-Ätzansatz mit hohen Prozessraten und hochwertigen Ergebnissen. Die Breitstrahlquelle dient jedoch zur schnellen Verarbeitung von Substraten mit Hilfe eines energiereichen Elektronenstrahls. Dieser Strahl ist in der Lage, unerwünschte Ladungen zu induzieren, letztendlich müssen neutralisiert und Anodenplatten installiert werden. Schließlich unterscheidet sich Aura 2000LL von anderen chemischen Ätzlösungen mit seinen zuverlässigen CIP (clean in place) -Operationen. Dieser chemisch integrierte Reinigungsprozess hilft dabei, Verunreinigungen aus der Entstehung zu entfernen und zu verhindern, wodurch sichergestellt wird, dass die Ätzkammer mit einer möglichst sauberen Umgebung gefüllt wird. Eine solche innovative Eigenwartung von NOVELLUS Aura 2000LL trägt dazu bei, seine Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für fortschrittliche Prozessfähigkeiten zu verbessern. Als Teil der preisgekrönten NOVELLUS-Produktfamilie zeichnet sich Aura 2000LL durch seine Flexibilität für eine Vielzahl von Substratgrößen und qualitativ hochwertige Ätztiefen aus. Die optimierte räumliche Gleichmäßigkeit des Ätzens/Aschens und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb machen es ideal für anspruchsvolle Anwendungen in Halbleiterfabriken.