Gebraucht NOVELLUS Gamma 2100 #9236709 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma 2100 ist eine von NOVELLUS Systems Inc. Dieses fortschrittliche Ätz- und Aschersystem ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten in der Halbleiterindustrie zu verarbeiten, einschließlich Polysilizium, Metalle und Isolatoren. Es verfügt über NOVELLUS patentierte Substrat Temperature Control (STC) -Technologie, die eine präzise Steuerung der Prozesstemperatur für eine präzise Ätz- und Oxidentfernung ermöglicht. Das Gerät verfügt darüber hinaus über eine bildgebende Fähigkeit, die Wafer-interne sowie die Wafer-übergreifende Prozessleistung zu messen, wobei jede Schicht nach Kundenspezifikationen erstellt wird. Dieser Ätzer/Ascher bietet auch fortschrittliche nanoskalige Abscheidungsfähigkeit mit seiner hochgenauen Strahl-Ader-Tablettentechnologie, die die präzise Abscheidung von Dünnschichtschichten ermöglicht. Gamma 2100 beinhaltet eine ausgeklügelte Prozesssteuerung und Automatisierung, so dass eine Vielzahl von Prozessen und Rezepten automatisch programmiert werden können. Die Hochgeschwindigkeits-Scanplatte bewegt sich präzise über die Oberfläche des Substrats und ermöglicht Scanlängen von bis zu 40 Mikrometer pro Schritt. Die Maschine umfasst außerdem eine hochpräzise X-Y-Abtaststufe und ein elektrostatisches Doppelkanalfutter für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm. Durch die Verwendung seiner hochauflösenden Datenerfassung ist NOVELLUS Gamma 2100 in der Lage, as-etched Funktionen bis zu 0,004 Mikrometer zu analysieren. Es bietet auch eine hochauflösende Bildgebungsfähigkeit zur Messung der Wafer-internen sowie der Wafer-übergreifenden Leistung. Darüber hinaus ist es aufgrund seiner On-Board-Bildverarbeitungsfähigkeit in der Lage, sehr kleine Funktionen in Echtzeit zu erkennen und zu erkennen, ohne dass eine manuelle Optimierung erforderlich ist. Durch die automatisierte Kalibrierstufe bietet Gamma 2100 zudem eine hohe Wiederholbarkeit. Es ermöglicht Benutzern, zielgerichtete Werte festzulegen und schnell konsistente Ergebnisse für jeden Wafer zu erzielen. Die Maschine verfügt auch über eine bordeigene Rezeptbibliothek und -software, die es Anwendern ermöglicht, Instrumenteneinstellungen und Prozessrezepte bequem zu pflegen. Neben seiner überlegenen Prozessleistung bietet NOVELLUS Gamma 2100 einen kostengünstigen Betrieb. Sein stickstoffsparendes Design sorgt für einen höheren Durchsatz bei minimalem Gasverbrauch. Dies wiederum senkt die Betriebskosten und erhöht die Gesamteffizienz. Insgesamt ist Gamma 2100 ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das in der Lage ist, die Prozesstemperatur genau zu steuern und Dünnschichtschichten im Nanoskalibereich abzuscheiden. Es bietet hochpräzise Bildgebung zur Messung der Prozessleistung, automatisierte Kalibrierung zur Gewährleistung der Wiederholbarkeit und niedrige Betriebskosten aufgrund seiner stickstoffsparenden Konstruktion. NOVELLUS Gamma 2100 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Gut, das sich für die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten in der Halbleiterindustrie eignet.