Gebraucht NOVELLUS Gamma 2130 #293627326 zu verkaufen
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ID: 293627326
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130 ist ein Ätzer/Ascher für Anwendungen mit hoher Produktivität. Die einzigartige Prozesstechnologie, das Design und die Funktionen des Geräts ermöglichen es, kostengünstige und leistungsstarke Ätz- und Aschevorgänge zu ermöglichen. Gamma 2130 ist ideal für fortschrittliche Technologie Knoten Prozessentwicklung und kostengünstig, Produktion und Wartung. NOVELLUS Gamma 2130 ist mit einer kompakten Stellfläche gebaut, die es für eine Vielzahl von Anwendungsbedürfnissen und Durchsatzanforderungen geeignet macht. Die Prozesskammer kann bis zu acht Wafer handhaben, mit voller Kontrolle über Rezeptparameter, so dass die Prozeßwiederholbarkeit. Der Revolver ist mit einem Quarzduschkopf und einem Elektronenstrahl-Duschkopf ausgestattet, was eine Vielzahl von Prozessoptionen ermöglicht. Das System wird von einem leistungsstarken Prozesscontroller angetrieben, der eine stabile Prozessumgebung bietet und über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche verfügt. Gamma 2130 ist mit einem fortschrittlichen Multi-Puls-Stromgenerator ausgestattet. Dieser Stromgenerator stellt die Wärmebelastung in der Prozesskammer automatisch ein und gleicht sie aus, wodurch ein konsistentes Prozessfenster entsteht. Der Stromgenerator verfügt zudem über eine erweiterte Prozesssteuerungsfunktion, die automatisch optimale Ätz- und Aschebedingungen beibehält. Der fortschrittliche Prozessregler sorgt auch für stabile Prozessparameter, einschließlich Ätz- und Aschezeiten, Druck und Temperatur. NOVELLUS Gamma 2130 ist kompatibel mit einer breiten Palette von Prozesschemien und kann mit Einzel- oder Multiwafer-Würfeln arbeiten. Darüber hinaus ist das Gerät so konzipiert, dass es einfach mit zusätzlichen Kammern und verschiedenen anderen Optionen aufgerüstet werden kann. Gamma 2130 unterstützt auch die Online- und Offline-Überwachung und Steuerung aller Prozessfunktionen. Insgesamt bietet NOVELLUS Gamma 2130 eine effiziente, leistungsstarke Ätz- und Aschelösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Die robuste Prozesskontrolle und Genauigkeit der Maschine machen sie zu einer idealen Wahl für Entwicklungs- und Produktionsprozesse. Es bietet auch Stabilität, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit für die Herstellung von einheitlichen Teilen mit hochwertigen Oberflächen.
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