Gebraucht NOVELLUS Gamma 2130 #293627328 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma 2130 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der ein vollständiges Spektrum an Prozessfähigkeiten bietet und die Produktion von Hochleistungsgeräten in einer Vielzahl von Wafergrößen ermöglicht. Es ist mit einer hochmodernen PECVD-Kammer ausgestattet, die in der Lage ist, gleichmäßige und hochwertige Ablagerungen von Nitrid, Oxynitrid und Polysiliziumfolien zu erzeugen. Gamma 2130 verfügt auch über ein hochauflösendes Bildgebungs- und Mustersystem für Layout-Design und genaue Maskierung für präzises Ätzen oder Aschen. NOVELLUS Gamma 2130 ist in der Lage, mehrere Schichten mit unterschiedlichen Dicken und Abmessungen mit einem hohen Durchsatz abzuscheiden oder zu ätzen. Es hat eine maximale Ätzrate von 1000A/min und kann wiederholbare Ergebnisse mit Gleichmäßigkeit über 50mm Wafer erzielen. Die Plattform bietet eine beispiellose Kontrolle über reaktive Artkonzentrationen und Substrattemperatur. Darüber hinaus kann es mit einer Reihe von Gasförder- und Prozessleitsystemen konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Abscheide- und Ätzanwendungen zu unterstützen. Gamma 2130 wird mit der neuesten Technologie gebaut und wird für einen Druck von 1000mBar bewertet. Es ist mit einem hochpräzisen Endpunktüberwachungs- und Steuerungssystem ausgestattet, um eine exakte Messtechnik und Prozesskontrolle über eine Vielzahl von Wafergrößen und Materialien sicherzustellen. Die fortschrittlichen bildgebenden Systeme und Software-Setups ermöglichen verbesserte Ausbeuten und Konsistenz bei Beschichtungs- und Ätzprozessen. Das System ist auch für hohe Staub- und Abscheide- oder Ätzraten ausgelegt. NOVELLUS Gamma 2130 bietet durch eingebaute Sicherheitsmechanismen und redundante Schutzsysteme ein Höchstmaß an Sicherheit und Zuverlässigkeit. Es ist so konzipiert, dass es nonstop für längere Zeiträume läuft und ist leicht anpassbar, je nach den Anforderungen der gewünschten Anwendung. Gamma 2130 ist ein robuster und fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der flexible, zuverlässige und kostengünstige Lösungen für jeden Halbleiterprozess bietet.