Gebraucht NOVELLUS Gamma 2130 #9260075 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma 2130 ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das überlegene Prozessfähigkeit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen bietet. Es ist optimiert, um die Anforderungen der CMOS-Fertigungsprozesse zu erfüllen und bietet überlegene Funktionssteuerung, Prozessgleichförmigkeit und Zykluszeit für Anwendungen mit hohem Volumen. Gamma 2130 verfügt über ein fortschrittliches Dreistrahl-Design, das einheitliche vierseitige Wandprofile für die Verarbeitung mit hohem Seitenverhältnis bietet. Es verwendet ein einzigartiges ultraschnelles Interferometer, das eine präzise Strahlplatzierung für eine stabile Ätz-/Ascheleistung beibehält. Das Werkzeug enthält auch einstellbare Schlitzöffnung für die Prozessabstimmung über eine breite Palette von Wafergrößen, und ein fortschrittliches Trockenätzverfahren für zuverlässigen Rückseitenschutz. NOVELLUS Gamma 2130 verfügt über eine Architektur mit hohem Durchsatz, die einen unbeaufsichtigten Betrieb für bis zu 24 Stunden ermöglicht. Es nutzt umfassende Roboterhandhabung für die nahtlose Integration mit anderen Maschinen im Werk. Eingebaute Sensoren und Feedback-Regelkreise sorgen für eine kontinuierliche Leistungsüberwachung und Stabilitätsprüfung. Das System ist auch mit fortschrittlicher Diagnosetechnologie ausgestattet. Es verfügt über eine erweiterte Konsolenanzeige, die eine Echtzeit-Überwachung der Prozessparameter und der Systemleistung bietet. Darüber hinaus bietet Gamma 2130 ungleichmäßige Eingabedaten für verbesserte Rezepte und Modellvorhersagen. NOVELLUS Gamma 2130 ist ein leistungsstarkes Ätz-/Aschewerkzeug, das den Anforderungen der anspruchsvollsten CMOS-Fertigungsprozesse gerecht wird. Es bietet außergewöhnliche Funktionssteuerung, höhere Prozessgleichförmigkeit und kürzere Zykluszeiten. Das fortschrittliche Dreistrahl-Design und die ausgefeilte Diagnose machen die Maschine zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Werkzeug für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen.