Gebraucht NOVELLUS Gamma 2130 #9282119 zu verkaufen
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NOVELLUS Gamma 2130 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für das Ätzen und Aschen verschiedener Substrate, einschließlich Metalle, Keramik, Quarz und Glas. Gamma 2130 verwendet fortschrittliche Elektronenstrahl-Verdampfungstechnologie in Verbindung mit kryogener Kühltechnologie, um Ätz- und Ascheprofile mit ausgezeichneter Auflösung, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erstellen. NOVELLUS Gamma 2130 verfügt über eine leistungsstarke, computergesteuerte Abscheideausrüstung, die eine Hochleistungsabscheidung mit minimaler thermischer Drift erreichen kann. Das integrierte Computersystem ermöglicht eine automatisierte Programmierung und Steuerung der Ätz- und Ascheprozesse bei Überwachung von Temperatur-, Leistungs- und Druckschwankungen. Gamma 2130 ermöglicht eine flexible Rezeptsteuerung mit hoher Reproduzierbarkeit, die eine präzise Dosierung und gleichmäßige Zusammensetzung über Substrate mit geringer thermischer Drift ermöglicht. NOVELLUS Gamma 2130 ist mit einer versiegelten Kammer konzipiert, die erhöhte Sicherheit, Prozesswiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Es ist in der Lage, präzise Steuerung der Ätz-/Asche-/Abscheidungsparameter, mit jedem Prozess unabhängig kontrolliert, um eine konstante Materialzufuhr zu gewährleisten. Die abgedichtete Kammer ermöglicht auch die Einleitung eines breiten Spektrums von Gasen bei verschiedenen Drücken für eine optimale Prozesssteuerung und ein verbessertes Ätz-/Ascheprofil durch verbesserte Gleichmäßigkeit. Gamma 2130 verfügt über eine hohe Tragfähigkeit mit einer Mehrzonen-Temperatureinheit. Dies ermöglicht eine bessere Gleichmäßigkeit und bessere thermische Kontrolle über die große Ätzfläche und verbesserte Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit. Es reduziert auch die Prozesszeit aufgrund der höheren Materialabscheidegeschwindigkeit erheblich. NOVELLUS Gamma 2130 bietet außergewöhnliche Leistung und Wiederholbarkeit mit sehr geringer Partikelerzeugung für eine optimale Topographiekontrolle. Es ist so konzipiert, dass es einfach in Produktionslinien und automatisierte Systeme integriert werden kann und eine schnelle und konsistente Substratvorbereitung ermöglicht. Seine fortschrittliche Steuerungsmaschine bietet einen effizienten, hochpräzisen Ätz- und Ascheprozess, der zu hochwertigen Ätz- und Ascheergebnissen führt.
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