Gebraucht NOVELLUS Gamma 2130 #9377872 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma 2130 ist ein Hochtemperatur-Ätzer/Ascher auf Plasmabasis, der für die Verarbeitung auf Waferebene in der Halbleiterbauelementherstellung entwickelt wurde. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um die strengen Prozessspezifikationen der Branche zu erfüllen und bietet eine überlegene Ätzgleichförmigkeit mit beispielloser Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit. Gamma 2130 bietet eine präzise Kontrolle über Ätztiefe, Seitenverhältnis und Oberflächenrauhigkeit und ermöglicht hochleistungsfähige Gerätestrukturen wie ultraseichte Verbindungen und Gatefingerstrukturen. Es bietet auch ausgezeichnete Plasma-Gleichmäßigkeit und Selektivität, die Sicherstellung der höchsten Qualität Struktur für jedes Gerät. Das System nutzt induktiv gekoppelte Plasma (ICP) -Technologie und verfügt über eine proprietäre, weitstrahlige Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Plasmaquelle, die überlegene Ätzselektivität und Ätzrate bis zu 0,2 nm/min bietet. Seine ICP-Stromquelle bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit des Prozesses über den Wafer. Das Gerät verfügt über eine Emerson ASC-1000 Steuerungsmaschine, um eine engmaschige Prozesskontrolle zu gewährleisten und die Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit jedes Ätzprozesses zu verbessern. NOVELLUS Gamma 2130 verfügt über ein selbstjustierendes, keramisches, schmalspuriges elektrostatisches Spannfutter (ESC), um den Wafer während der Verarbeitung zu halten. Der ESC bietet eine hohe Gleichmäßigkeit von Temperatur und Druck des Suszeptor-Spannfutters und gewährleistet eine gleichmäßige Ätzrate über den gesamten Wafer. Gamma 2130 verfügt auch über ein Gas-Interface-Panel (GIP), das eine einfache Gasbeladung und -entladung sowie eine präzise Steuerung der Reaktantgasdurchflussraten und -mischung ermöglicht. Das Tool bietet Flexibilität bei der Auswahl von Prozessgasen und deren Kombination und bietet eine Vielzahl von Prozessoptionen für verschiedene Anwendungsanforderungen. Der Ätzprozess auf NOVELLUS Gamma 2130 wird mit Hilfe eines in-situ Ellipsometers für die on-the-fly Echtzeit-Ätzendpunkt-Erkennung optimiert. Es bietet auch integrierte Diagnosefunktionen wie Prozessentwicklung, Kammeroptimierung und Nachbearbeitungsanalyse. Gamma 2130 kann einfach in eine Reinraumumgebung integriert werden und bietet niedrige Betriebskosten, wodurch es hocheffizient und kostengünstig ist. Seine überlegene Ätzgleichmäßigkeit und Selektivität macht es für eine Vielzahl von Anwendungen wie Transistor-, Kondensator- und Widerstandsätzverfahren geeignet.