Gebraucht NOVELLUS Gamma Express #293618743 zu verkaufen
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ID: 293618743
Wafergröße: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express ist ein Ätz-/Aschergerät, das bei der Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungen eingesetzt wird. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von hochauflösenden Masken, Kontaktschichten und Metallspuren in einer Reihe von fortgeschrittenen Materialien zu produzieren, einschließlich amorphem Silizium, Polysilizium, Wolfram, Gold und anderen leitfähigen Materialien. Es ist ein wichtiges Werkzeug in der Mikroelektronik-Fertigung und kann komplexe Muster in kurzer Zeit mit hoher Zuverlässigkeit erzeugen. Die Hauptkomponenten von Gamma Express sind das Mainframe und das zugehörige Steuerungssystem. Das Mainframe beherbergt den eigentlichen Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, hochpräzise und kontrollierbare Ätz- und Ablagerungsschritte durchzuführen. Das System kann über eine Vielzahl von Prozessbedingungen wie Druck, Temperatur, Verweildauer und Ätzumgebung betrieben werden. Es ist auch zu mehreren Ätzzyklen fähig und kann eine breite Palette von Materialien für das Prototyping genau ätzen. NOVELLUS Gamma Express ist auch in der Lage, präzise und reproduzierbare Bilder für Inspektion und Überprüfung zu produzieren. Es verfügt über erweiterte optische Inspektionsmöglichkeiten mit berührungsloser, zerstörungsfreier Technologie, um Fehler vor dem Ätzen zu erkennen. Damit können auch alle funktionalen Probleme vor dem Ätzen erkannt und die Genauigkeit des Ätzprozesses geschützt werden. Gamma Express ist für hohe Geschwindigkeit, hohe Leistung und hohe Genauigkeit gebaut. Sie erreicht eine sehr hohe Abscheiderate und kann in wenigen Minuten das gewünschte Ergebnis erzielen. Das System verfügt auch über mehrere Gasquellen, die eine hervorragende Kontrolle über den Ätzprozess ermöglichen. NOVELLUS Gamma Express verfügt über erweiterte Steuerungsfunktionen und ist in der Lage, mit nassen und trockenen Prozessgasen zu arbeiten, was höchste Ätzgenauigkeit ermöglicht. Gamma Express ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Ausrüstung ausgestattet. Diese Funktionen umfassen erweiterte Überwachung, Alarme und einen eingebauten Notstopp, der bei Unregelmäßigkeiten aktiviert wird. Zusammenfassend ist NOVELLUS Gamma Express ein hochentwickeltes Ätzer/Ascher-Gerät, das hochpräzise und reproduzierbare Muster in einer Vielzahl von Materialien schnell und zuverlässig herstellen kann. Es ist für hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit ausgelegt und ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Ausrüstung ausgestattet.
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