Gebraucht NOVELLUS Gamma Express #293618750 zu verkaufen
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ID: 293618750
Wafergröße: 12"
Stripper / Asher, 12"
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP Carrier
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft
MDP Power box
External interlocks
MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express
Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft
MKS GHW-50A Generator
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
HI-THLD (XPR type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
(2) Monitors
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die das präzise Ätzen und Aschen von dünnen Folien auf einer breiten Palette von Materialien ermöglicht. Das Gerät ist sehr vielseitig, in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben und mehrere Prozesse zu implementieren, einschließlich Trockenätzen, Nassätzen, maskenloser Lithographie und Plasmaaschen. Gamma Express ist eine ideale Wahl für jede Branche, die eine präzise und wiederholbare Dünnschichtverarbeitung benötigt, vom Halbleiter bis zum MEMS-Gerät. NOVELLUS Gamma Express verfügt über eine vollständig einstellbare Prozesskammer, die eine breite Palette von Substraten und Prozessparametern ermöglicht. Die Kammer wird unter Druck gesetzt, um die Temperatur und den Druck für präzises Ätzen/Aschen stabil zu halten. Es bietet Platz für eine große Substratgröße von 2x2mm bis 5x5mm, was den Prozessdurchsatz erhöht. Die Maschine ist auch mit einem Satz von hochauflösenden digitalen Bildsensoren ausgestattet, um eine Rückkopplungssteuerung für den Prozess bereitzustellen. Das integrierte Prozessmodul verfügt über einen direkten Eingang zur Steuerung der zugeführten Leistung in verschiedenen Prozessschritten, wodurch eine präzise Steuerung der Ätztiefe und Selektivität möglich ist. Das System verfügt außerdem über ein proprietäres Bildmatrix-Messsystem, das Ätz- und Ascheergebnisse in Echtzeit genau misst. Die integrierte Prozesssoftware bietet eine ganze Reihe von Statistiken, darunter Ätzrate, Oxidverdünnungsrate, Selektivität und Einheitlichkeit. Gamma Express ist eine sehr zuverlässige Ätz-/Aschemaschine mit sehr geringen Wartungskosten und einfacher Wartungsfreundlichkeit. Es ist so konzipiert, dass es schnell in einer minimalen Zeitspanne eingerichtet werden kann, wobei ein minimales Bedienertraining erforderlich ist. Die Maschine erfüllt alle Automatisierungsanforderungen und ermöglicht die Integration in eine Produktionslinie. Das Gerät wird von einer leistungsstarken SPS angetrieben, die mehrere Prozesse antreiben kann, einschließlich automatischer Dosierchemikalien für große Substrate. NOVELLUS Gamma Express ist ein ideales Werkzeug für die Dünnschichtbearbeitung und bietet präzise Ätz- und Aschefunktionen. Die integrierte Prozesssoftware sorgt für wiederholbare Ergebnisse, ohne Bedienfehler. Die Maschine liefert präzise Ergebnisse und liefert gleichzeitig schnell und zuverlässig einen hohen Durchsatz. Mit seinen hochpräzisen Ätz- und Aschefähigkeiten ist Gamma Express ein unverzichtbares Werkzeug für zahlreiche Branchen, die eine Dünnschichtverarbeitung benötigen.
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