Gebraucht NOVELLUS Gamma Express #293642130 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma Express ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die für die Ausführung kritischer, hochvolumiger und hochqualitativer Ätz- und Ascheanwendungen in der Halbleiter- und dielektrischen Geräteherstellung entwickelt wurde. Dieses hochmoderne Ätz-/Aschersystem wurde entwickelt, um Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsätzen und -veraschen einer Vielzahl von Substraten, hauptsächlich Silizium und anderen Halbleitermaterialien, mit außergewöhnlichem Durchsatz, Prozessgleichmäßigkeit und Ausbeute zu ermöglichen. Gamma Express ist mit einem hocheffizienten Design konfiguriert und umfasst Technologien wie Remote-Plasma-Fähigkeiten, vertikale und lateral orientierte Prozesse, lineare HF- und Kapazitätsmaterialverträglichkeit, Strahlungsreduktionstechnik und eine vollautomatisierte Substrathandhabungseinheit. Diese Funktionen schaffen eine optimale Ätzumgebung, die die Risiken im Zusammenhang mit manueller Handhabung, Montage und Steuerung reduziert. NOVELLUS Gamma Express wird von einer Stickstoffplasmaquelle angetrieben, die in der Lage ist, hochintensives Plasma, schnelle Ätzraten und einen homogenen Prozess zu liefern. Die entfernte Plasmaquelle gewährleistet einheitliche und wiederholbare Ätzlinienprozesse über eine Vielzahl von Materialien, darunter Silizium, Kupfer, Germanium, Titan, Aluminium und andere Metalle. Diese erweiterte Ätzlinienkonfiguration verfügt über eine maximale Plasmadauer von bis zu acht Minuten und Ätzraten bis zu 6 μ m/min, je nach Substratmaterial. Das vollautomatisierte Substrathandling ist äußerst zuverlässig und effizient und ermöglicht eine schnelle und wiederholbare Verarbeitung mit reduzierter manueller Handhabung und Teileeingabe. Gamma Express enthält auch eine fortschrittliche, eingebettete Prozesssteuerungsmaschine, mit der Benutzer das Tool für optimale Leistung überwachen, anpassen und programmieren können. Diese erweiterte Steuerung bietet vier Ätz- und Ascheprozessrezepte mit jeweils einem einstellbaren „Ätzrate“ -Parameter für eine breite Palette von Substraten und Materialien. Benutzer können auch ihre Ätzlinien-Rezepte anpassen, um höhere Durchsatzgeschwindigkeiten zu erzielen oder ihren Prozess auf bestimmte Ebenen oder Funktionen zu optimieren. NOVELLUS Gamma Express wurde entwickelt, um hochpräzise, große Fertigungsanforderungen im Wafermaßstab zu erfüllen. Dieses fortschrittliche Ätz-/Aschermodell bietet zudem eine gleichbleibend hohe Prozessgleichmäßigkeit, was eine ertragsstarke, kostengünstige Geräteherstellung ermöglicht. Gamma Express wurde entwickelt, um die Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, die für die heutigen Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderlich sind.