Gebraucht NOVELLUS Gamma Express #9169777 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma Express ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um sehr präzise Produktmerkmale auf einer Vielzahl von Substraten zu produzieren, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. Es ist für Anwendungen zur Hochdurchsatz- und Hochpräzisionsmikrobearbeitung konzipiert und in mehreren Kammerkonfigurationen zum Ätzen und Aschen erhältlich. Gamma Express ist ein einzelner Wafer, Mehrkammerätzer/Ascher, der anisotrope und trockene Ätzprozesse verwendet. Es ist in der Lage, Funktionsgrößen bis zu 5 Mikrometer herzustellen, und hat eine Bearbeitungszeit von Werkzeug zu Wafer so schnell wie 4 Sekunden. Es verfügt über eine fortschrittliche Cryo ECR-Quelle und zwei Prozessgase, Sauerstoff und Stickstoff, um präzise Ätz- und Ascheprozesse anzubieten. Seine Intermix-Kammer enthält zwei Komponenten (benutzerkonfigurierbar), die Selektivität und Dicke des Ätzes ändern. Sein Jet Etch Enhancer steigert die Produktivität im Vergleich zu anderen Radierern und Aschermaschinen auf dem Markt. NOVELLUS Gamma Express wurde mit einem SENTRYX-Steuerungssystem entwickelt, das eine vollständig integrierte Prozesssteuerung bietet und eine benutzerfreundliche Steuerung bietet, die es seinen Benutzern ermöglicht, mit seinem RecipeEditor Ätz- und Ascherezepte zu erstellen und zu verwalten. Die fortschrittlichen Diagnosetools helfen bei der Verfolgung der Werkzeugleistung und bieten Analysen für die vorausschauende Wartung. Es verfügt auch über einen JETON eXchange zur Steuerung von Reinigungsprozessen, um Werkzeugausfallzeiten zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt Gamma Express über eine Zweizonen-Lastschleuse-Kammer, die die Handhabung und Verschmutzung von Wafern verringern und Ausfallzeiten reduzieren soll. Schließlich verfügt es über einen Dual-Arm-Roboter, um Wafer sicher mit maximaler Geschwindigkeit zu übertragen, um die Betriebskosten zu reduzieren. Mit seiner fortschrittlichen Steuerungsmaschine und Flexibilität für die Verarbeitung mehrerer Substrate ist NOVELLUS Gamma Express etcher/asher ein ideales Werkzeug für jede Halbleiterproduktionsumgebung. Es bietet präzise Ätz- und Ascheprozesse mit verbesserter Produktivität und reduzierten Betriebskosten.