Gebraucht NOVELLUS Gamma Express #9171640 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma Express ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiter-Mikrofertigung. Es ist für hohe Geschwindigkeit, ultra-hohe Genauigkeit und ausgezeichnete Beschichtung Gleichmäßigkeit entworfen. Es ist weit verbreitet in der FAB-Umgebung für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Gamma Express besteht aus zwei Hauptkomponenten: 1) dem Kondensator, der eine Vakuumkammer ist, die das Ätz-/Aschegas und das Substrat enthält; und 2) das elektrische Zuführsystem, das dafür verantwortlich ist, die Ausgabe von der Quelle an das Substrat zu liefern. Die Ätz-/Aschequelle ist eine Elektronenstrahlkanone, die hochenergetische Ionen erzeugt, um das Material zu ätzen/aschen. Die Wechselwirkung zwischen den Elektronen und den Gasmolekülen erzeugt das Ätz-/Aschemuster auf dem Substrat. NOVELLUS Gamma Express bietet durch seine präzise Steuerung des Strahlengangs eine hervorragende Gleichmäßigkeit für Ätz-/Aschemuster. Es ist mit verschiedenen Spannfuttern, Kollimatoren und optischen Systemen ausgestattet, um das Substrat genau auszurichten und ein homogenes Ätzen zu gewährleisten. Der Ätzer/Ascher umfasst außerdem verschiedene Impulsnetzteile und einen asynchronen Treiber zur Feinsteuerung von Prozessparametern. Dies kann eine genaue Steuerung der Ätzrate, Tiefe, Gleichmäßigkeit, Selektivität, Ätzseitenverhältnis und mehr ermöglichen. Gamma Express ist auch mit mehreren fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie Partikeldetektoren, Vakuummonitoren und Kontaminationsmonitoren, um sicherzustellen, dass die Arbeitsumgebung sicher ist. Prozessparameter wie Leistungseinstellungen, Gasfluss und Abgasdruck können während des Betriebs in Echtzeit überwacht werden. Was die Dimensionierung angeht, ist NOVELLUS Gamma Express recht kompakt und misst nur 540 mm breit und 515 mm tief. Dadurch eignet es sich für mittelgroße bis große Halbleiterverarbeitungsvorgänge. Gamma Express ist auch wirtschaftlich, mit seinem konkurrenzfähigen Preis macht es eine beliebte Wahl für viele Mikrofabrikationsprozesse. Insgesamt ist NOVELLUS Gamma Express ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiter-Mikrofabrikation, der eine hervorragende Kontrolle des Prozesses bietet. Seine außergewöhnliche Genauigkeit, Einheitlichkeit und Sicherheitsmaßnahmen machen es ideal für Halbleiterverarbeitungsanwendungen.