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NOVELLUS Gamma Express
ID: 9281513
Asher.
NOVELLUS Gamma Express ist eine revolutionäre Ätzausrüstung für die Halbleiterindustrie. Es bietet Ätzfähigkeiten für eine breite Palette von Materialien, einschließlich organischer, Metall-, Keramik- und Halbleiterscheiben. Mit seiner leistungsstarken Software-Steuerung können mehrere Schichten schnell und präzise geätzt werden. Ein beeindruckendes Merkmal von Gamma Express ist die automatisierte Handhabung und Verarbeitung von Substraten. Dies ermöglicht optimale Ätzparameter und Dimensionierung und erhöht die Produktionsgeschwindigkeit. NOVELLUS Gamma Express ist mit einem Hochfrequenz-, Pulsleistungs- und Turbomolekulerpumpensystem ausgestattet, das die Ätzgeschwindigkeit und -genauigkeit optimiert. Die leistungsstarken Niedertemperatur-Plasmaquellen ermöglichen ein gleichmäßiges, effizientes Ätzen einer Reihe von Materialien mit minimaler Fehlerausbreitung. Dies macht es ideal für das Ätzen anspruchsvoller Materialien wie Diamant und Wolfram sowie für Ätzmaterialien mit engen Toleranzen. Gamma Express verfügt über eine zentrale Steuereinheit, die die Einrichtung und Bedienung des Ätzers einfach und effizient macht. Es hat Schritt-für-Schritt-Anleitungen und Tutorial-Fenster, die klare Anweisungen zur Programmierung und Bedienung geben. Die Maschine verfügt auch über eine erweiterte grafische Benutzeroberfläche zur Steuerung von Ätzparametern und Verfolgungsergebnissen. NOVELLUS Gamma Express bietet eine hervorragende Integration mit anderen Geräten wie Load-Lock-Systemen, Sputter-Systemen, Photoresist-Beschichtungssystemen und Spin-Coat-Systemen. Dies ermöglicht eine optimale Integration von Ätzprozessen mit anderen Schritten im Fertigungsprozess. Aufgrund dieser Fähigkeit ist es in der Lage, eine enge Prozesssteuerung bereitzustellen, die den Anforderungen moderner Halbleiterherstellungsanlagen entspricht. Gamma Express ist robust, zuverlässig und effizient. Seine beeindruckende Technik wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu minimieren, konsistente qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern und Wartungskosten zu reduzieren. Mit seiner fortschrittlichen Automatisierung bietet es dem Anwender maximale Vielseitigkeit und Produktivität. NOVELLUS Gamma Express ist ein beeindruckendes Ätzwerkzeug, das die Halbleiterindustrie revolutionieren kann.
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