Gebraucht NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Express AHMxT ist eine Zweikammer-Etch/Ascher-Ausrüstung, die für fortschrittliche Halbleiteranwendungen wie die flache Trenchisolierung (STI) entwickelt wurde. Es bietet eine hocheffiziente und kostengünstige Methode zum Ätzen/Aschen von Drähten bis 150 nm in der Merkmalsgröße. Vector Express AHMxT verfügt über zwei unabhängig gesteuerte Module, die gleichzeitige Ätz- und Ascherprozesse sowie eine leicht zugängliche Kammer für Wartung und Reinigung ermöglichen. Der ätzen Raum von NOVELLUS Vector Express AHMxT wird mit einem hohen Durchfluss, Mehrfrequenzplasmagenerator ausgestattet, der materielle Schichten im Intervall von 5 bis 150 nm in der Eigenschaftsgröße bearbeiten kann. ALD/CVD-ähnliche Prozesse können auch durchgeführt werden, wenn die Kammer mit ausgewählten Vorläufern ausgestattet ist. Mit intelligenter Steuerlogik ist die Ätzkammer in der Lage, sehr hohe Ätzraten sehr effizient und kostengünstig zu erreichen. Die Ascherkammer von Vector Express AHMxT nutzt ein Quellenmassenspektrometer zur genauen Messung von Prozessgasen und Substrattemperaturen sowie verbesserte Gasmischfähigkeiten. Der Ascher ist in der Lage, Materialien bis 150 nm in der Funktionsgröße mit sehr präziser Steuerung zu verarbeiten. Das System ist auch mit einem Wafer-Stufenlader für einfaches Be- und Entladen von Substraten in Anwendungen wie STI und Damaszenen ausgestattet. Häufige Anwendungen von NOVELLUS Vector Express AHMxT umfassen: flache Trenchisolierung (STI), flache Trenchisolierung (STI), Kontaktlöcher, Gategräben, vertikale und horizontale Verbindungen und die Damaszenen-Verarbeitung. Das Gerät ist in der Lage, sehr hohe Ätzraten und ausgezeichnete Oberflächengleichmäßigkeit und Sauberkeit zu produzieren. Darüber hinaus bietet Vector Express AHMxT eine hervorragende Taumel- und Wiederholbarkeit, die hohe Erträge und konsistente Geräteeigenschaften ermöglicht. Insgesamt bietet NOVELLUS Vector Express AHMxT Halbleiterherstellern eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine für fortschrittliche Geräteherstellungs- und -verarbeitungsanwendungen. Sein Doppelkammerdesign ermöglicht das gleichzeitige Ätzen und Aschen, und sein fortschrittlicher Plasmagenerator und das Quellenmassenspektrometer bieten eine präzise Steuerung und ausgezeichnete Wiederholbarkeit. Das Tool bietet zudem Kosteneinsparungen durch hohe Durchsatzraten und effiziente Bearbeitung.