Gebraucht NOVELLUS Vector Express #9125995 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Express ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschemaschine, die eine breite Palette von Schichtstapeln verarbeiten kann, einschließlich vieler der neuen Materialien, die für fortschrittliche Chip-Technologien verwendet werden. Das System basiert auf einer Dual-Zone-Architektur mit zwei unabhängigen Prozesszonen für Ätz- und Ascheroperationen. Die Dual-Zone-Architektur ermöglicht hohen Durchsatz und Flexibilität mit einer einzigen Einheit und ermöglicht gleichzeitig eine breite Palette von Prozessoptionen und -fähigkeit. Vector Express kann bis zu vier Substrate gleichzeitig verarbeiten, was eine effiziente und zuverlässige Plattform für die Herstellung von Großserien bietet. Das hochpräzise Werkzeug der Maschine kann Ätz- und Ascheroperationen präzise steuern und gleichzeitig Fehler minimieren und den Ertrag verbessern. NOVELLUS Vector Express verfügt über eine hochdichte Plasmaquelle, die eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und eine branchenführende Ätzrate bietet. Das Tool kann sehr niedrige CD-Gleichmäßigkeit und Linienbreite Rauhigkeitsspezifikationen für kritische Layout-Funktionen erreichen, so dass es für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden kann, einschließlich hochpräziser Musterung von Saliziden. Das Asset umfasst auch erweiterte Ätzprozesssteuerungsfunktionen wie Echtzeit-Mehrzonen-Vakuum-Feedback, verbesserte Mehrpunkt-Ätzratenkontrolle und integrierte Vision. Diese Merkmale ermöglichen eine präzise Kontrolle der Anforderungen an Produktabmessungen und Zusammensetzung. Vector Express verfügt auch über eine enge Temperaturregelung der Plasmakammer, so dass sie temperaturempfindliche Materialien mit extrem kleinen oder schmalen kritischen Abmessungen verarbeiten kann. Außerdem kann die Plasmakammer für verschiedene Materialien oder Prozessparameter beliebig beheizt oder gekühlt werden. NOVELLUS Vector Express ist die perfekte Wahl für Ätz- und Ascheranwendungen, die hohen Durchsatz und Flexibilität erfordern. Es kann eine breite Palette von Schichtstapeln und Merkmalsgrößen verarbeiten, mit enger Maßkontrolle und ausgezeichneter Prozessgleichförmigkeit. Die integrierten fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Vision-Systeme bieten eine hervorragende Produktqualität und machen Vector Express zu einer idealen Wahl für Anwendungen mit hohem Volumen.