Gebraucht NOVELLUS Vector Express #9203793 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Express ist eine Hochgeschwindigkeits-Ätz- und Aschemaschine, die für fortschrittliche Prozessflexibilität und Leistung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es kombiniert eine Vielzahl von proprietären Technologien, um die Schaffung einer breiten Palette von integrierten Schaltungen (ICs) in einer einzigen Verarbeitungskammer zu ermöglichen. Dieses System bietet überlegene Durchsatzraten, kontrollierte Betriebskosten und optimale Raumeffizienz. Vector Express verfügt über ein innovatives, in sich geschlossenes Design, mit dem es mit minimalem Aufwand und Unterbrechungen installiert und eingerichtet werden kann. NOVELLUS Vector Express wird in einer Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen eingesetzt. Je nach Komplexität der Anwendung kann die Einheit eine einzelne Schicht einer Vorrichtung oder mehrere Schichten in mehrstufiger Verarbeitung ätzen. Es kann auch für eine Vielzahl von Wafer Reinigung und Rückenfüllung Aufgaben verwendet werden. Die Maschine ist mit zwei Hauptkomponenten ausgelegt: der Hauptverarbeitungskammer und der Thermotransferkammer. Letzterer ist ein Mini-Ofen, mit dem Radikale für Ätz-, Asche- und Glühprozesse erzeugt werden. Um maximale Produktivität zu gewährleisten, verwendet Vector Express ein ausgeklügeltes Rollladentor, das ein schnelles Be- und Entladen der Wafer ermöglicht, ohne den Bearbeitungszyklus zu unterbrechen. Der Prozessor verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche mit komfortablen Touchscreen-Funktionen und Parametern. Das Tool kann bis zu 8 Rezepte speichern und ermöglicht einen schnellen und einfachen Wechsel zwischen den Prozessen. Eine Bibliothek mit häufig verwendeten Gaszusammensetzungen ist ebenfalls integriert, so dass Benutzer schnell auf häufig verwendete Gasgemische zugreifen können. NOVELLUS Vector Express ist sowohl mit einer widerstandsfähigen als auch mit einer induktiven Plasmaquelle ausgestattet, die eine hohe Präzision und hohen Durchsatz beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Es verwendet auch niederfrequentes Plasma, um die Partikelerzeugung zu reduzieren und gleichzeitig eine außergewöhnliche Ätzgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die robuste Konstruktion des Modells arbeitet mit einer breiten Palette von Prozessgasen, um eine optimale Integration in bestehende Produktionslinien zu ermöglichen. Schließlich bietet Vector Express eine hervorragende Prozessüberwachung und -steuerung, die Echtzeitanpassungen und optimierte Verarbeitungsbedingungen ermöglicht. Zusammenfassend ist NOVELLUS Vector Express ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der überlegene Durchsatzraten, effizienten Platzverbrauch, hervorragende Steuerungsfunktionen und eine intuitive Benutzeroberfläche bietet. Mit seinem robusten und innovativen Design ist es eine ideale Wahl für Chiphersteller, die ihre Produktionskapazitäten maximieren möchten.