Gebraucht NOVELLUS Vector Express #9203794 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Express ist eine innovative High-End-Ätzausrüstung, die für eine kostengünstige und zeitsparende Produktion in der großvolumigen Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie entwickelt wurde. Das Vector Express-System basiert auf der bewährten NOVELLUS-Plattform und bietet schnelle und konsistente Ergebnisse bei einer Vielzahl von Ätzanwendungen. NOVELLUS Vector Express arbeitet mit Geschwindigkeiten von bis zu 6.000 Wafern pro Stunde und verfügt über die Fähigkeit, komplizierte Eigenschaften von weniger als 1 Mikron mit hoher Wiederholbarkeit und Präzision zu ätzen. Vector Express wurde für absolute Gleichmäßigkeit konzipiert, was eine bessere Prozesskontrolle im Vergleich zu manuellen Ätzsystemen ermöglicht und es Herstellern ermöglicht, schnell einen hocheffizienten Ätzprozess zu etablieren. Die integrierte Einheit wird mit einem Standard Process Module (SPM) geliefert, das bis zu vier Kammern steuern und integrieren kann, sowie einem Cluster Module Repetition (CMR) mit zusätzlichen Kammern und Prozesssteuerung. NOVELLUS Vector Express Maschine hat eine kleine Stellfläche, so dass es ideal für den Einsatz in engen, automatisierten Fertigungslinien, während seine integrierte Feature-Set und Skalierbarkeit für High-Speed-Performance in einer Reihe von Anwendungen. Der Ätzer bietet eine Regelung von Vorspannung, Spannung, Druck und Temperatur, die präzise und kontrollierte Ätzparameter ermöglicht und bei minimierten Fehlern für mehr Details sorgt. Vector Express ist für photonenaktiviertes Ätzen (PAE) konzipiert, ein Verfahren, das spezialisierte Laserlichtimpulse verwendet, um Materialien mit einer höheren Genauigkeit und Auflösung als ein herkömmliches Ätzverfahren zu ätzen. Es enthält auch dedizierte Pattern Aging Valve (PAV) -Technologie für Fern- und unbeaufsichtigte Operationen, die ein automatisches Hochfahren und Herunterfahren ohne Eingriff des Bedieners ermöglicht. Insgesamt ist NOVELLUS Vector Express für eine optimale Ätzleistung konzipiert, mit integrierter Hardwareunterstützung für eine überlegene Prozesssteuerung. Im Vergleich zu vielen anderen derzeit in der Branche erhältlichen Ätzsystemen bietet Vector Express schnellere Verarbeitungsraten bei gleichzeitig überlegener Leistung und Kosteneinsparungen für Massenaufträge.