Gebraucht NOVELLUS Vector Express #9210888 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9210888
Weinlese: 2007
PECVD System
Vector processes: Advanced ashable hard mask
Facilities: Bottom
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user interface: Flat panel right
Load lock pump: Express load lock pump
Atmospheric robot: Friction end effector
Mounting for light tower:
Audio buzzer
Wall / Flush mount
System options:
Signal tower: 4 Color light tower (RYGB)
IMM Readiness: Over left load lock
Third FOUP Option
(3) Foup RF ID reader
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display package
Heated process manometer
Leak check shut off valve
2007 vintage.
NOVELLUS Vector Express ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der optimale Qualität und Leistung für das Ätzen und Aschen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Es wurde mit fortschrittlicher Technologie entwickelt, um die Herstellung von Chips von besserer Qualität bei geringeren Verarbeitungskosten effizienter zu ermöglichen. Damit ist es das perfekte Werkzeug für Hersteller, die die Produktion mit verbesserter Kosteneffizienz steigern möchten. Vector Express basiert auf einer fortschrittlichen Plattform, die überlegene Ätz-/Aschemethoden für eine breite Palette von Materialien bietet. Sie nutzt einen Laserstrahl mit einer vorgegebenen Ätz-/Ascherate, der den Ätz-/Aschevorgang präzise steuern kann. NOVELLUS Vector Express verfügt auch über eine fortschrittliche Prozesskontrollausrüstung, die hilft, die Ergebnisse zu optimieren und eine gleichbleibende Qualität über Ätz-/Asche zu gewährleisten. Darüber hinaus kann das System bis zu neun verschiedene Verarbeitungsrezepte ausführen und bietet die Flexibilität, anpassbare Modi für verschiedene Materialien zu erstellen. Neben der Maximierung der Genauigkeit des Ätz-/Ashing-Prozesses bietet Vector Express auch eine Vielzahl weiterer Funktionen, die es zu einer der fortschrittlichsten Lösungen auf dem Markt machen. Dazu gehört eine Niedertemperatur-Ascheinheit, die das Risiko von Materialschäden bei gleichzeitiger Erzielung der gewünschten Ätzergebnisse verringern kann, sowie eine Präzisionsreinigungs- und Ausrichtungsmaschine, die dabei hilft, ungleichmäßige Bildartefakte zu reduzieren. NOVELLUS Vector Express steigert seine ohnehin schon überlegene Leistung durch den Einsatz eines fortschrittlichen, geräuscharmen Lastschlosses für verbessertes Wafer-Handling. Vector Express ist zudem mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und umfangreichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Dies beinhaltet eine automatische Abschaltung bei Prozessanomalien sowie eine Alarmmeldung und Überwachung von Ätzparametern. Alle diese Funktionen kombiniert machen NOVELLUS Vector Express zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Ätz-/Aschegut. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und seinen umfassenden Funktionen ist Vector Express ideal für eine überlegene Ätz-/Ascheperformance auf einer Reihe von Materialien für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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