Gebraucht NOVELLUS Vector Sola #293641465 zu verkaufen

NOVELLUS Vector Sola ist eine Ätz-/Aschemaschine, die zum Ätzen und Aschen verschiedener Schichten von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses System verwendet einen Mehrstrahllaser, um das Ätzen und Aschen in einem einzigen Schritt genau zu kombinieren, was ein schnelles Prototyping und die Halbleiterproduktion ermöglicht. Das Gerät basiert auf einer digitalen Lichtverarbeitungs (DLP) Projektionsmaschine, kombiniert mit einer Anzahl von Linsen und Spiegeln, die einen Laser fokussieren und auf den Bearbeitungsbereich lenken. Das DLP-Modul verfügt über einen erweiterten räumlichen Lichtmodulator (SLM) mit einer Wellenlänge von 260 nm, der Funktionsgrößen bis zu 35nm verarbeiten kann. Dies ist die höchste Auflösung einer der aktuellen Generation von Ätzern/Aschern. Vector Sola verfügt auch über einen High Productivity Etch (HPE) -Modus, der die Verarbeitungsgeschwindigkeit im Vergleich zu anderen Systemen auf dem Markt bis zu drei erhöht. Weitere einzigartige Merkmale sind die JetEtch-Technologie, die gepulstes Plasmaätzen mit geringer Zeitverzögerung zwischen aufeinanderfolgenden Pixeln ermöglicht. Dadurch können tiefe oder breite Gräben schnell geätzt werden. Das Werkzeug verfügt über eine Reihe weiterer vorteilhafter Merkmale wie Argon Plasma Protection (APP), der das Substrat vor Gasflussschwankungen schützt, selbstoptimierender Excimer Laser (SEL), der die Laserenergie und Leistungsstabilität verbessert, und fortschrittliche Scan-Stage-Bewegungstechnologie, die die Prozessgenauigkeit erhöht. NOVELLUS Vector Sola verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Steuerung von Operationen und Funktionen sowie konfigurierbare Parameter für optimales Ätzen und Aschen. Die Benutzeroberfläche ermöglicht auch die Anzeige von Ätz- und Aschefortschritten, was für eine präzise Prozesssteuerung wichtig ist. Darüber hinaus ist Vector Sola für die Wirtschaftlichkeit optimiert und kann Nachätzreinigungen wie Nassreinigungen, Asche-vor-Ätzen und Skip-Etch präzise durchführen. Die kompakte Größe der Anlage trägt zur Reduzierung der Modellkosten bei und ermöglicht die Automatisierung in der Halbleiterproduktion wie Autostaining, Autostrip und Autotransfer. NOVELLUS Vector Sola ist eine ideale Wahl für Anwendungen, die mehrstrahliges Laserätzen und Aschen mit präziser Steuerung, hoher Auflösung und hohem Durchsatz benötigen. Es ist eine sehr vielseitige Ausrüstung mit einer Reihe von konfigurierbaren Parametern, die leicht auf die Anforderungen verschiedener Produktionsprozesse zugeschnitten werden kann.