Gebraucht NOVELLUS Vector Sola #9285851 zu verkaufen
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ID: 9285851
Wafergröße: 12"
UV Cure system, 12".
Missing parts:
Monitor
Robot
ATM Doors
ISO Valve
Right side component
(4) Heaters
Transfer blade
Pendulum valve
Quartz
Generator.
NOVELLUS Vector Sola ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der erweiterte Messtechnik und fortschrittliche Prozessmodule für hochpräzise Ätz-, Asche- und Dampfphasenabscheidungsanwendungen (PVD) ermöglicht. Vector Sola bietet eine Hochgeschwindigkeits-, Hochpräzisions- und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Prozessanwendungen und bietet Kunden eine optimale Lösung für ihre Anforderungen an Musterung und Abscheidung. NOVELLUS Vector Sola ist mit einem 16-Zoll-Monitor für eine benutzerfreundliche Schnittstelle, einer I- LID™-Abscheideausrüstung und einem QuikLoad™ Waferbearbeitungssystem ausgestattet, um eine überlegene Prozesskontrolle bei Ablagerungen und Ätzen zu erreichen. Darüber hinaus bietet Vector Sola eine hochpräzise Platzierungseinheit mit fortschrittlichen Software-Algorithmen für präzises und effizientes Be- und Entladen von Wafern. NOVELLUS Vector Sola nutzt die neuesten Technologien für Ätz-, Asche- und Abscheidungssysteme, um eine überlegene Leistung zu bieten. Es ist mit einer fortschrittlichen RF/Gamma-Quelle für überlegene Ätzleistung, einem dedizierten 1150 ° C Quarzrohrofen für Ascheranwendungen und einer einzigartigen QuikLoad ™ Waferbearbeitungsmaschine für die Prozesssteuerung ausgestattet. Darüber hinaus nutzt Vector Sola ein proprietäres Gasförderwerkzeug, das exakt gesteuerte Ströme von Reaktivgasen für schnelle thermische Prozesse ermöglicht. NOVELLUS Vector Sola umfasst auch eine breite Palette fortschrittlicher Detektoren und Messtechnik-Komponenten, um präzise und genaue Analysen während der gesamten Ätz-, Asche- und Abscheidungsprozesse zu ermöglichen. Eine breite Palette optischer Detektoren wie das QuickScans™ Reflektometer und die QuikGuage™ Messtechnik bieten eine präzise und genaue Analyse. Eine spezielle Löschstufe ist auch für zusätzliche Gleichmäßigkeit, Effizienz und Genauigkeit verfügbar. Vector Sola verfügt auch über konfigurierbare Gaszufuhrsteuerung mit präzisen Massendurchflussreglern, die genaue und wiederholbare Durchflussraten bieten. Dieses Modell bietet eine hohe Drucktunnelung und eine Richtgasförderung, die eine Präzisionsunterbrechung der gewünschten Folie oder Schicht bewirkt. Insgesamt ist NOVELLUS Vector Sola ein leistungsstarker Ätzer/Ascher mit fortschrittlichen Technologien, Präzisionsmesstechnik und Prozesskontrollsystemen, der Kunden eine überlegene Wahl für Ätz-, Asche- und Abscheidungsanwendungen bietet.
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