Gebraucht NOVELLUS Vector #9149328 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
Vector
ID: 9149328
CVD System, 12" 2003 vintage.
NOVELLUS Vector ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der speziell für die anspruchsvollen Anforderungen des heutigen Halbleitermarktes entwickelt wurde. Es bietet eine Vielzahl von verschiedenen Modellen, konfigurierbar, um jede Größe und Art von Chip oder Board passen. Es verwendet die neuesten Technologien, um schnelle Zykluszeiten, hohe Erträge, konsistente Ätzprofile und Einheitlichkeit auf einem großen Substrat zu erreichen. Vektorätzer sind für das präzise Ätzen und Aschen vieler Substrate konzipiert, einschließlich Kupfer, Aluminium, Siliziumoxid, Stahl, Nickel und Aluminium. Das System zeichnet sich durch eine hohe Ätzrate und Gleichmäßigkeit aus und eignet sich besonders für Anwendungen, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit oder eine feine Merkmalsdefinition erfordern. NOVELLUS Vektorätzer verwenden eine Kombination aus reaktivem Ionenätzen (RIE) und plasmaverbessertem chemischem Ätzen (PECE), um einen hohen Durchsatz zu erreichen. Zur Ionisierung des der Kammer zugeführten Reaktionsgases wird eine hochmoderne Plasmaquelle verwendet, während eine PECE-Technik die operative Flexibilität des Ätzers erhöht. Diese kombinieren, um qualitativ hochwertige Prozessergebnisse zu liefern und die Verarbeitungszeit zu reduzieren, was Vector Ätzer zu einem der schnellsten seiner Klasse macht. In Bezug auf die Palette der verfügbaren Parameter und die Systemkonfigurierbarkeit ist der NOVELLUS Vector Ätzer schwer zu überbieten. Es bietet sowohl Hoch- und Tieftemperaturverarbeitung als auch Prozessflexibilität hinsichtlich Ätzzeiten und anderer Steuerungsparameter und ermöglicht Anwendern die Steuerung, ihre Prozesse für ihre spezifische Anwendung zu optimieren. Darüber hinaus verfügt Vector Ätzer über eine erweiterte Prozesssteuerung, so dass Benutzer Substratätz- und Ätzraten genau überwachen können. NOVELLUS Vector Ätzer erzielen hervorragende Wiederholbarkeit und Funktionsdefinition, indem sie ihren proprietären „OptiVect“ Ätzprozess integrieren. Computergesteuerte Hochfrequenz- (RF) Stromquellen bieten eine präzise und vielseitige Steuerung mehrerer Frequenzbereiche, die eine möglichst hohe Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Zusammenfassend bieten Vector Ätzer einige der besten Leistungsstandards der Branche. Durch die Nutzung modernster Technologien und die Integration leistungsstarker Prozesssteuerungsfunktionen kombinieren NOVELLUS Vector Ätzer schnelle Bearbeitungszeit mit hervorragender Funktionsdefinition und Einheitlichkeit. Sie sind die ideale Wahl für alle Prozesse, die Präzision und Gleichmäßigkeit erfordern.
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