Gebraucht NOVELLUS Vector #9167159 zu verkaufen

NOVELLUS Vector ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher für Anwendungen zum präzisen Ätzen, Aschen und Entfernen von Oberflächen. Vector kombiniert zwei Geräteplattformen in einem Werkzeug - eine Ätzausrüstung und ein Ashing-System - mit denen Benutzer Materialien wie Si, GaAs, Quarz und Glas mit einstufigen Ergebnissen verarbeiten können. NOVELLUS Vector verwendet auch fortschrittliche Ätztechnologie, die eine erhöhte Präzision und Kontrolle bietet. Vektor ist ideal für geätzte Profile mit hohen Seitenverhältnissen, enger Toleranzmusterwiederholbarkeit und hoher Ätzselektivität. Es kann eine Vielzahl von Wafergrößen verarbeiten, darunter 4 ", 6" und 8 ". NOVELLUS Vector verfügt auch über Funktionen, die es für fortschrittliche Musteranwendungen wie Mikrobearbeitung, Mikrofertigung, Herstellung integrierter Schaltungen und Abscheidung/Ätzen von Metallen und Dielektrika gut geeignet machen. Vector verwendet die DirectedCathodne Beam Technologie (DCB), um hohe Ätzraten und optimale Materialselektivität zu gewährleisten. Die DCB-Technologie sorgt auch für ein präzises, einheitliches und stark wiederholbares Musterprofil. NOVELLUS Vector Anwender können ihre Ätzprozessparameter und Prozessabläufe anpassen, um einheitliche Merkmale zu erzeugen, die in Verbindung mit anderen Ätzkomponenten arbeiten. Vector ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einer abgeschirmten chemischen Abgabeeinheit, die korrosive und gefährliche Materialien enthält und unter Quarantäne stellt, und einer sicheren Umgebung für dielektrische und metallische Ätzmaterialien. Die Maschine enthält außerdem ein Laserkühlwerkzeug zum Schutz der Prozesskammer und der Wafer. NOVELLUS Vector ist ein ideales Werkzeug für Ätzanwendungen mit fortschrittlicher Kontrolle, Wiederholbarkeit und Präzision. Es ist sehr zuverlässig, erfordert eine minimale Wartung und liefert konsistente Prozessergebnisse. Seine zuverlässige Prozessstabilität führt zu erhöhten Durchsatzraten und Kosteneinsparungen. Vector bietet auch eine einzigartige Mischung aus Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit, so dass Benutzer ihre Prozessparameter und Prozessabläufe entsprechend ihren Anforderungen optimieren können.