Gebraucht NOVELLUS Vector #9195888 zu verkaufen

NOVELLUS Vector ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der speziell für die Verarbeitung von Halbleitermaterialien auf Waferebene entwickelt wurde. Es ist eine hochentwickelte Ausrüstung, die sowohl für Plasma- als auch für thermische Ätzprozesse eingesetzt werden kann. Vector ist in der Lage, sehr kleine, präzise geformte Muster auf dünnen Filmen zu erzeugen, bietet aber auch flexible Skalierbarkeit und Durchsatz. Es bietet eine flexible Plattform für Plasmaätz- und Ascheprozesse. Die fortschrittliche Hardware-, Software- und Optiktechnologie von NOVELLUS Vector bietet hochleistungsfähiges Aschen, Ätzen und Reinigen. Das Thin Film Ashing Modul (TFAM) ist eine Vakuumkammer, die für spezielle Anwendungen entwickelt wurde, die spezielle Funktionen wie hochauflösende, niedrige Energie und niedrige Temperatur erfordern. Die Mainframe-Kammer von Vector bietet ein robustes und langlebiges thermisches Ätzverfahren mit maximaler Flexibilität. Das hochauflösende Maskenausrichtungssystem von NOVELLUS Vector ermöglicht eine präzise Platzierung von Produkten und Masken innerhalb der Kammer. Vector bietet auch eine erweiterte Automatisierung der Ätz- und Ascherprozesse. Es bietet integrierte Wiederholbarkeit mit der automatischen Erkennung von Kammerbedingungen, Produkteigenschaften und Prozessparametern. Die Software von NOVELLUS Vector umfasst eine leistungsstarke grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine benutzerfreundliche Plattform für den Fernbetrieb, die Datenerfassung und die Diagnose bietet. Die Multi-Kassetten-Ladeeinheit von Vector erweitert den Durchsatz und senkt die Betriebskosten. Seine Vakuum-Management-Maschine (VMS) hilft bei der Kontrolle der Partikelwerte und bietet höhere Leistung für Ätz-/Ascheprozesse. Darüber hinaus verfügt NOVELLUS Vector über ein intuitives und benutzerfreundliches und verbessertes Lastverriegelungswerkzeug für reduzierte Waferschäden. Die Plasmaätz- und Aschermöglichkeiten von Vector bieten konstant hohe Leistung bei niedrigen Zykluszeiten. Darüber hinaus sorgt NOVELLUS Vector mit seiner niedrigen Energiequelle für eine umweltfreundliche Verarbeitungsatmosphäre. Insgesamt ist Vector ein sehr vielseitiger Etch/Asher mit hochpräzisen Funktionen, ausgezeichneter Skalierbarkeit und hohem Durchsatz für anspruchsvolle Wafer-Level-Prozesse.