Gebraucht NOVELLUS Vector #9262780 zu verkaufen

NOVELLUS Vector ist ein Ätzer/Ascher, der die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit ausgezeichneter Größe, Tiefe und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Es eignet sich besonders zur Herstellung von ultrafeinen Pitch-Produkten wie DRAM-Back-End-Leiterbahnen, Contact/via-Arrays, PWB- und Flip-Chip-Substraten. Vector ist eine Hochdurchsatzausrüstung mit präzisen Maskenplatzierungsfunktionen. Es basiert auf einer Hochleistungs-Scantabelle und einer erweiterten ICP-Ätzquelle. Dieses Setup ermöglicht eine genaue Anpassung des Ätzprozesses, was zu außergewöhnlich hohen Qualitätsergebnissen führt. Eine Reihe fortschrittlicher bildgebender und messtechnischer Werkzeuge sind ebenfalls enthalten, die eine zerstörungsfreie Prozesskontrolle ermöglichen. Die erweiterte Arbeitsumhüllung von NOVELLUS Vector sorgt dafür, dass Merkmale aller Größen und Geometrien mit hoher Genauigkeit geätzt werden können. Vektor verwendet eine flexible PECVD/OCD-Oxidbeschichtung vor dem Ätzen. Diese Beschichtung bietet eine überlegene Fehlerkontrolle, die es ermöglicht, Prozessausbeuten zu maximieren und gleichzeitig eine hervorragende Konformität auf selbst anspruchsvollsten Substraten zu gewährleisten. NOVELLUS Vector ist auch hocheffizient beim Ätzen über Dual-Layer-Features und Blind Vias. Das System ist in der Lage, Durchgangslöcher, Kontakte und andere Formelementtypen mit außergewöhnlicher Tiefengleichmäßigkeit und feiner Linienauflösung zu ätzen. Die fortschrittliche Prozesssteuerung von Vector sorgt für hervorragende Wiederholbarkeit und geringe Defektivität. Die erweiterten Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen des Systems reduzieren die Zykluszeiten drastisch und sorgen dafür, dass der Ätzprozess genau spezifiziert wird. Dies führt zu verbesserten Ausbeuten und minimierten Ausschussraten. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Funktionen zur Fehlerüberwachung und -kontrolle, wodurch es im Vergleich zu herkömmlichen Ätzern eine überlegene Fehlererkennungsfähigkeit bietet. Alles in allem ist NOVELLUS Vector ein außergewöhnlicher Ätzer/Ascher mit überlegenen Prozesssteuerungsfunktionen. Die Maschine hilft, Zykluszeiten drastisch zu reduzieren und kann ultrafeine Pitch-Produkte mit konsistenten Tiefenschätzungen und minimaler Kantenrauhigkeit leicht ätzen. Seine fortschrittlichen bildgebenden und messtechnischen Werkzeuge stellen sicher, dass es Produkte von höchster Qualität mit sehr minimalen Schrottraten produziert.