Gebraucht NOVELLUS Vector #9294444 zu verkaufen

NOVELLUS Vector
Hersteller
NOVELLUS
Modell
Vector
ID: 9294444
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
CVD System, 12" Process: SiO2 / SiN STD BL ARC 2005 vintage.
NOVELLUS Vector ist ein branchenführender Ätzer/Ascher, der im chemisch-mechanischen Polieren oder CMP verwendet wird. Es produziert durchweg hochwertige Ergebnisse und ist für eine Vielzahl von Ätz- und CMP-Prozessen konzipiert. Mit einer einzigartigen Kombination aus Hardware und Software bietet Vector konstant hohe Ätzraten, chemische Selektivität und Oberflächenplanarisierung in einer Vielzahl von Materialien. NOVELLUS Vector ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher zur Automatisierung des Ätz- und chemisch-mechanischen Planarisierungsprozesses (CMP). Es ist ein modulares System, das an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden kann und für den Einsatz in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung konzipiert ist. Vector verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Konstruktions- und Ätzkomponenten, die Präzision und Kontrolle gewährleisten. NOVELLUS Vector verwendet eine PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), um SiO2, Nitride und andere verwandte Folien auf dem Substrat der Wahl abzuscheiden. Diesem Abscheidungsprozess folgen RIE (Reactive Ion Etching) und CMP (Chemical Mechanical Polishing), um den Ätz- und Planarisierungsprozess abzuschließen. Vector kann Materialien bis zu 500 nm dick ätzen und planarisieren und verfügt über eine integrierte Plasmaquelle sowie die neuesten Fortschritte in der Ätztechnologie. NOVELLUS Vector verfügt zudem über eine einzigartige Softwareschnittstelle, die eine präzise Steuerung von Prozessparametern sowie eine vollständige Automatisierung des Ätzprozesses ermöglicht. Dies macht es Benutzern leicht, Einstellungen anzupassen und maßgeschneiderte Ätzaufträge zu erstellen, während sie sich sicher sind, dass ihre Ätzergebnisse konsistent bleiben, egal wie oft die Parameter angepasst werden. Diese Software ist in einer benutzerfreundlichen Sprache integriert und enthält Tutorials und Online-Support. Neben der Technologie hinter Vector verfügt es auch über ein ausgeklügeltes Kammerdesign und eine Fertigung, die ein Höchstmaß an Zuverlässigkeit und Leistung bietet. Die Kammerkomponenten sind sowohl für die CMP- als auch für die Ätzprozesse ausgelegt und sorgen für Genauigkeit und Präzision während der gesamten Ätz- und Planarisierungsprozesse. Insgesamt ist NOVELLUS Vector ein branchenführender Ätzer/Ascher, der höchste Qualität und konstant präzise Ergebnisse liefert. Es verfügt über fortschrittliche Hardware- und Softwaretechnologien sowie ein umfassendes Kammerdesign und -herstellung, um Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten. Vector ist perfekt für Branchen jeder Größe und ist eine ideale Wahl für alle Ihre Ätz- und Planarisierungsanforderungen.
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