Gebraucht NOVELLUS Vector #9379236 zu verkaufen

NOVELLUS Vector ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der von NOVELLUS Systems zum Ätzen und Aschen unterschiedlichster Materialien entwickelt wurde. Vektor ist in der Lage, feine Präzision ätzen und Aschen auf Sub-Mikron-Ebenen (sub 5nm). Es verwendet NOVELLUS patentierte Rasterelektronenstrahl (SEB) -Technologie, um einen extrem präzise fokussierten Elektronenstrahl zu liefern, der für qualitativ hochwertiges, feinliniges Ätzen und Aschen notwendig ist, die für die Herstellung komplexer, feinteiliger Chips unerlässlich sind. NOVELLUS Vector verfügt außerdem über ein Lastschloss mit einem Wafer, einen internen Kühlkörper und ein externes thermisches Spannfutter zur genauen thermischen Steuerung. Der Wafer wird in die Lastverriegelungskammer von Vector geladen, und der Strahl wird auf seine Oberfläche fokussiert. Mit seinem hochpräzisen Abtastmuster und ultraschnellen Pulsraten ist NOVELLUS Vector in der Lage, schneller als die meisten konkurrenzfähigen Lösungen zu ätzen und zu aschen und dabei stets die höchste Auflösung und Qualität zu erreichen. Darüber hinaus ermöglicht Vector 's SEB dem Anwender, Materialien zum Ätzen mit hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit auf den Wafer aufzubringen. NOVELLUS Vector arbeitet auch nahtlos mit anderen NOVELLUS-Systemen zusammen, was ein hohes Maß an Prozessautomatisierung und -integration ermöglicht. Neben Vector bietet das Unternehmen auch die Ares Fast Copper Damascene Solutions, das Evolution Dielektric Etching System und das Production Eversharp Ätz-/Aschesystem an. Diese Optionen bieten eine Reihe von Ätz-/Aschetechniken für verschiedene Arten von Materialien.