Gebraucht NSC ES 371 #9144811 zu verkaufen
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NSC ES 371 ist eine Ätz-/Aschermaschine für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es verwendet Plasmaätztechnologie, um schnell und präzise hochpräzise Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erstellen. Dieses System verfügt über einen Vakuum-Elektronenstrahl, der Substrate bis zu 150 mm sowohl im planaren als auch im 3D-Format verarbeitet. Es bietet eine hohe Gleichmäßigkeit und hohe Ausbeute und ermöglicht präzise Ätzergebnisse. ES 371 ist modular aufgebaut, um einfache Wartung und Upgrades zu erleichtern. Es bietet eine Reihe von Prozessmethoden wie RIE (Reactive Ion Etch), ICP (Inductively Coupled Plasma) und IBI (Ion Beam Inducement). Diese Implementierungen bieten eine verbesserte Prozesskontrolle über eine Vielzahl von Temperaturen und Gasgemischen. Die integrierte automatische Tune- und Feedback-Maschine des Geräts ermöglicht eine ultrapräzise Prozessabstimmung und -steuerung, die zu maximaler Ätzeffizienz beiträgt. Der Betriebstemperaturbereich dieses Werkzeugs ist flexibel, die Standardbetriebstemperaturen reichen von Umgebungstemperatur bis 300 ° C. Diese Temperatur kann eingestellt werden, um verschiedene Arten von Substraten aufzunehmen. Darüber hinaus können verschiedene Arten der Sublimation auch auf NSC ES 371 durchgeführt werden, was es zu einer idealen Plattform für mehrere Ätzanwendungen macht. ES 371 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die sowohl den Benutzer als auch den Vermögenswert selbst schützen sollen. Dazu gehört eine Überlastschutzfunktion, die das Modell kontinuierlich auf abnorme Strom- und Spannungspegel überwacht. Darüber hinaus ist die Ausrüstung mit einem Wasserleckerkennungssystem ausgelegt, das Leckagen innerhalb der Einheit erkennen kann, so dass eine rechtzeitige Reparatur und Wartung möglich ist. Insgesamt ist NSC ES 371 eine vielseitige Ätz-/Aschemaschine, die den Anforderungen hochpräziser Anwendungen gerecht wird. Seine Temperatur- und Prozesssteuerungsfunktionen sowie robuste Sicherheitsmerkmale machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiter- und verwandte Industrieanwendungen.
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