Gebraucht OCCLEPPO 650-06-P-25 #9003041 zu verkaufen

OCCLEPPO 650-06-P-25 ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschevorrichtung zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben. 650-06-P-25 Ätz- und Aschewafer mit Hochvakuum-DC-Magnetron-Sputtern eines Inertgases. Dieses Verfahren ermöglicht das gezielte und gleichmäßige Abscheiden von Materialien. OCCLEPPO 650-06-P-25 verfügt über eine Prozesskammer zum Ätzen und Aschen von bis zu 150 mm Durchmesser Wafern. Die Prozesskammer ist mit einer automatisierten Kassettenübertragung, einer eingebauten computergesteuerten Steuerung und einem Zweiwege-Hochvakuumschieber ausgestattet. Das DC-Magnetron-Sputtersystem umfasst drei unabhängige Netzteile mit insgesamt sechs Kathoden und insgesamt acht Sputterquellen. Die Prozesskammer wird durch eine Reihe von Prozess- und Temperaturreglern gesteuert. 650-06-P-25 verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen, darunter eine automatisierte Gasintensitätssteuereinheit, eine Niederdruck-Prozesskammer mit Atmosphärenspülung, ein ionisiertes Gasplasma-Reinigungssystem und einen automatisierten Kammerreinigungszyklus. OCCLEPPO 650-06-P-25 wurde entwickelt, um die Anforderungen an einen geringen Platzbedarf, kostengünstigen Betrieb und Hochleistungsätzen und -veraschen zu erfüllen. 650-06-P-25 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine mit einer breiten Palette von Verarbeitungsfunktionen. Es eignet sich für eine breite Palette von Materialien und Verfahren, einschließlich Ätzen und Aschen von Silizium, Aluminium, Gold, Diamantfilmen und verschiedenen Photoresist-Verfahren. Es eignet sich auch zum Ätzen und Aschen von komplexen Geometrien einschließlich MEMS-Strukturen, 3D-Oberflächen und nanofabrizierten Strukturen. OCCLEPPO 650-06-P-25 ist in der Lage, eine hohe Genauigkeit Abscheidung zu erreichen, mit Merkmalsgrößen bis zu 10 nm. Mit seinem präzisen DC-Magnetron-Sputtern, hoher Prozesshomogenität und wiederholbaren und zuverlässigen Ergebnissen ist 650-06-P-25 ideal für anspruchsvolle Mikrofabrikationsprozesse. OCCLEPPO 650-06-P-25 verfügt auch über eine einfach zu bedienende Software-Schnittstelle und ist CE-zertifiziert für den Einsatz in der Europäischen Union.