Gebraucht OXFORD 100 #293824948 zu verkaufen

OXFORD 100
Hersteller
OXFORD
Modell
100
ID: 293824948
RIE system.
OXFORD 100 ist eine vielseitige und hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine für die Halbleiterverarbeitung in der Mikroelektronikindustrie. Dieses Werkzeug ist bekannt für seine Präzision und Zuverlässigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen und ist damit ein entscheidendes Werkzeug bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. 100 wird von OXFORD Instruments, einem führenden Anbieter von Hightech-Werkzeugen und -Systemen für wissenschaftliche Forschung und industrielle Anwendungen, hergestellt. OXFORD 100 ist mit modernster Technologie und Funktionen ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Ätz- und Ascheprozesse ermöglichen. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, in der die Halbleiterscheiben beladen und bearbeitet werden. Die Vakuumkammer ist entscheidend für die Schaffung einer kontrollierten Umgebung frei von Verunreinigungen, die die Reinheit der Ätz- und Ascheprozesse gewährleistet. Eines der Hauptmerkmale von 100 ist seine fortschrittliche Plasmaätztechnologie, die eine präzise Entfernung von Materialien aus den Halbleiterscheiben ermöglicht. Plasmaätzen ist ein hochwirksames Verfahren, das mittels einer Plasmaentladung selektiv Material von der Waferoberfläche entfernt. OXFORD 100 ist mit ausgeklügelten Plasmaerzeugungssystemen ausgestattet, die hochdichte Plasmen für effizientes und präzises Ätzen erzeugen. Neben dem Plasmaätzen weist 100 auch Aschefähigkeiten auf, die für die Entfernung organischer Verunreinigungen und Rückstände von der Waferoberfläche wesentlich sind. Asche ist ein Prozess, der Sauerstoffplasma verwendet, um organische Materialien zu oxidieren und zu entfernen und eine saubere Waferoberfläche zu hinterlassen. OXFORD 100 verwendet fortschrittliche Aschetechniken, um eine gründliche und effiziente Entfernung von Verunreinigungen zu gewährleisten. 100 ist mit mehreren Gaseinlässen ausgestattet, so dass je nach den spezifischen Ätz- oder Ascheanforderungen eine breite Palette von Prozessgasen verwendet werden kann. Diese Gaseinlässe können genau gesteuert werden, um kundenspezifische Prozessrezepte für verschiedene Materialien und Anwendungen zu erstellen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über erweiterte Druckregelmechanismen, um die gewünschten Prozessbedingungen beim Ätzen und Aschen aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus ist OXFORD 100 mit einer ausgeklügelten Temperiermaschine ausgestattet, die eine präzise Temperaturregelung während der Verarbeitung ermöglicht. Die Einhaltung der richtigen Temperatur ist entscheidend für die Gewährleistung gleichmäßiger Ätz- und Ascheergebnisse über die Waferoberfläche. Das Tool verfügt auch über Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungssysteme, um Prozessparameter zu verfolgen und Anpassungen vorzunehmen, die für optimale Ergebnisse erforderlich sind. 100 ist mit benutzerfreundlichen Schnittstellen und Softwaresteuerungen entworfen, die Bedienung und Überwachung einfach und intuitiv machen. Das Asset wird mit einer Reihe von vorprogrammierten Prozessrezepten für gemeinsame Ätz- und Ashing-Anwendungen sowie der Möglichkeit, benutzerdefinierte Rezepte für spezifische Bedürfnisse zu erstellen, geliefert. Die Software bietet auch Datenprotokollierungs- und Analysefunktionen zur Verfolgung von Prozessparametern und zur Analyse von Ergebnissen. Insgesamt ist OXFORD 100 ein modernes Ätzer/Ascher-Modell, das beispiellose Präzision, Zuverlässigkeit und Flexibilität für die Halbleiterverarbeitung bietet. Seine fortschrittliche Technologie und Funktionen machen es zu einem wichtigen Werkzeug für Halbleiterherstellungseinrichtungen, die qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse erzielen möchten. 100 setzt mit modernsten Fähigkeiten und benutzerfreundlichem Design Maßstäbe für Ätz- und Aschesysteme in der Mikroelektronikindustrie.
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