Gebraucht OXFORD 100 #293824960 zu verkaufen
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ID: 293824960
Wafergröße: 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″
Weinlese: 2013
Reactive Ion Etcher (RIE), 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″
Plasma source: 13.56 MHz RF, 0–600 W
Process gases:
Cl₂: 0–100 sccm
BCl₃: 0–100 sccm
CH₄: 0–50 sccm
Ar: 0–100 sccm
NH₃: 0–100 sccm
CHF₃: 0–200 sccm
N₂O: 0–200 sccm
Materials: GaAs, GaN, Si, SiC
Wafer thickness: 0.4 – 1.5 mm
Etch rate: GaAs ≥ 10 nm/min
RF power supply: HiLight 136+, 600 W, 13.56 MHz
APC pressure control range: 1 – 60 mTorr
ALCATEL ATH400M Process chamber vacuum pump
ALCATEL ATP150 Transfer chamber vacuum pump
Chamber temperature range: Room temperature - 70°C
Gas cabinet
Control system
Chiller
2013 vintage.
OXFORD 100 + ist ein hocheffizientes wirtschaftliches Ätz- und Fertigungssystem für die Herstellung von vollständig kundenspezifischen, hochwertigen geätzten Produkten. Die Benutzeroberfläche des Systems ist einfach und intuitiv und ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung und Bedienung. 100 + setzt einen hochbelastbaren industriellen Werkzeugrollenmechanismus ein, um maximale Leistung und Konsistenz während des gesamten Ätzprozesses zu gewährleisten. Die Düsenrolle wird von einem robusten Servomotor angetrieben, der hohe Arbeitslasten bewältigen kann und einen leisen und reibungslosen Betrieb erzeugt. Zusätzlich ist die Düsenwalze mit einem Encoder ausgestattet, der eine präzise Geschwindigkeits- und Genauigkeitskontrolle ermöglicht und automatisch stoppt, wenn sie die gewünschte geätzte Tiefe erreicht. OXFORD 100 + verfügt zudem über einen Hochleistungs-Laserätzer. Dieser Laser ist in der Lage, komplexe Muster, Gradienten und Text in eine breite Palette von Materialien zu ätzen, darunter Metalle, Hölzer, Kunststoffe und Keramik. Die Strahldichte und Leistungsabgabe des Lasers kann an die Bedürfnisse des jeweiligen Materials und fertigen Produktes angepasst werden. Das System bietet auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die das Wohlbefinden des Bedieners bei der Nutzung der Maschine gewährleisten. Die Düsenwalze enthält einen Not-Aus-Mechanismus bei Stromausfall sowie zusätzliche Sicherheitsmerkmale zum Schutz des Bedieners und des zu ätzenden Materials. Der Laserätzer ist mit einem Laserschutzschild der Klasse 1 ausgestattet, was die Sicherheit des Bedieners weiter gewährleistet. 100 + ist eine hochproduktive und zuverlässige Fertigungsmaschine. Mit einem breiten Spektrum an Effizienz und Flexibilität bietet OXFORD 100 + eine einzigartige und umfassende Lösung für jedes Ätz- und Fertigungsprojekt.
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