Gebraucht OXFORD 100 + #9139601 zu verkaufen

OXFORD 100 +
Hersteller
OXFORD
Modell
100 +
ID: 9139601
Wafergröße: 6"
RIE system, 6".
OXFORD 100 + ist ein Ätzer/Ascher für allgemeine Elektronikanwendungen, die Dampfphasenätzen und Aschen in einer Vielzahl von Gasen erfordern. 100 + verwendet ein keramisches Heizelement und Quarzrohr, um eine gleichmäßige Temperatur und gleichmäßige Gasverteilung in der gesamten Kammer zu gewährleisten. Präzisionstemperaturregelung kombiniert mit einem präzisen Durchflussregelungsansatz ermöglicht höchste Kontrolle von Ätz- oder Abscheidungsparametern. Mit einem geringen Platzbedarf bietet OXFORD 100 + eine kompakte Lösung für High-End-Ätz- und Ascheanwendungen. Das Design von 100 + ermöglicht das einfache Ätzen und Aschen von elektronischen Komponenten und Materialien. Die Kammer von OXFORD 100 + ist aus Quarz aufgebaut, was eine qualitativ hochwertige Passivierung reaktiver Materialien gewährleistet. Das Quarzrohr ist so konzipiert, dass es eine gleichmäßige Verteilung der Gase ermöglicht und unabhängig von der Größe oder Komplexität des Substrats zuverlässige Ätz- und Ascheergebnisse liefert. 100 + verwendet auch ein Teflon-isoliertes Keramikelement in der Mitte der Kammer zum Heizen. Die Heizung wird von einer externen Stromquelle angetrieben und liefert eine konstante Temperatur zum Ätzen oder Aschen. OXFORD 100 + verfügt zudem über eine Durchflussregeleinrichtung, um die Genauigkeit im Ätz- und Ascheprozess zu gewährleisten. Dieses System besteht aus einem LFC (Low Flow Controller) und CFC (Constant Flow Controller) Baugruppe, die mit der Gasquelle bzw. Kammer verbindet. Das LFC ermöglicht die präzise und konsistente Dosierung des Gases, während das FCKW einen gleichbleibenden Kammerdruck aufrechterhält. Als zusätzliche Steuerung kann 100 + mit Durchflussregelventilen verwendet werden, die den ein- und ausströmenden Gasstrom steuern können. OXFORD 100 + ist eine effektive Ätz- und Aschelösung für viele Arten von Elektronikprojekten. Die Quarzrohrkonstruktion und das Teflon-isolierte Keramikelement sorgen für konstante Temperaturen und zuverlässiges Ätzen oder Aschen. Die Genauigkeit dieser Einheit wird durch die Strömungssteuermaschine weiter erhöht, die eine präzise und singuläre Gasförderung und Kammerdruckwartung gewährleistet. Wenn es um High-End-Ätzen und Aschen geht, ist 100 + die ideale Wahl.
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