Gebraucht OXFORD 80 PECVD #9131938 zu verkaufen

Hersteller
OXFORD
Modell
80 PECVD
ID: 9131938
Vacuum components system.
OXFORD 80 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ist eine fortschrittliche Trockenätz-/Ascher-Ausrüstung, die eine breite Palette von Materialien präzise und kostengünstig verarbeiten kann. Das PECVD-Verfahren verwendet ein Gasgemisch aus oxidierenden und reduzierenden Chemikalien, die in einer Plasmakammer gemischt und ionisiert werden, um eine hochreaktive Umgebung zu schaffen. Das Ergebnis ist die Abscheidung von Dünnfilmschichten bei gleichzeitigem Ätzen oder Wegspülen von unerwünschtem Material, was eine präzise Steuerung und Manipulation der Materialeigenschaften ermöglicht. OXFORD 80 + PECVD Modell ist für Prozessflexibilität und Leistung gebaut. Es umfasst eine 6-Zonen-Prozesskammer mit einer internen Grundplatte Temperaturregelung von 15 ° C bis 250 ° C. Eine fortschrittliche Prozesssteuerung ermöglicht präzise abgestimmte und wiederholbare Prozessparameter. Die Maschine nutzt auch eine optionale Nur-Hochfrequenz-Kanalzugabe, die zusätzliche Ionen zur Optimierung des Ätz- und Ascheprozesses ohne die Gefahr von Plasmaschäden bereitstellt. 80 PECVD kann Materialien wie Aluminium, Kupfer, Gold und Platin ätzen. Es kann auch Materialien wie Polyimid, Photolack, Low-K-Dielektrika und GaAs-Strukturen aschen. Das Verfahren ist in der Lage, feine Abscheidungsschritte mit hohem Durchsatz in einer einzigen Kammer zu rektifizieren, was eine erhöhte Prozesseffizienz ermöglicht. Darüber hinaus bietet 80 + PECVD eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit, die maximale Ausbeuten und Zuverlässigkeit ermöglicht. OXFORD 80 PECVD ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und Mikrofabrikationen. Es ist weit verbreitet in Branchen wie Automobil, Luft- und Raumfahrt, Unterhaltungselektronik und mehr. Der Ätzer/Ascher bietet überlegene Ätz- und Aschequalitäten und ermöglicht die Installation komplexer und empfindlicher integrierter Schaltungskomponenten, die präzise Leistung und zuverlässigen Betrieb erfordern. Insgesamt ist OXFORD 80 + PECVD eine effiziente und kostengünstige Ätz-/Aschemaschine für eine ganze Palette von Materialien. Es bietet eine große Flexibilität, Prozesssteuerung und Zuverlässigkeit und ist somit ideal für eine Vielzahl von Mikrofertigungsprozessen.
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