Gebraucht OXFORD 80 #9153430 zu verkaufen
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ID: 9153430
Reactive ion etcher
Open design
ACG 5xl RF Generator
Pressure controller: MKS 600 Series
2-Stage vacuum pump
Inbuilt control system
R3 Plasma cleaner
Lark sequencer
500 Generator
(2) Gas inputs
(2) Shelves: 12.75 x 12.75"
(4) MFC Gas control systems
Voltage: 208V
Available: Turbo pump, MFC controls.
OXFORD 80 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für den Einsatz in Laboren. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen, einschließlich der Tore, Beschädigungsstrukturen, Kontaktlöcher, Dotierungsflächen und Oxidschichten. Die Maschine ist vielseitig einsetzbar und eignet sich somit für eine breite Palette von Substraten und Materialien. 80 Ätzer/Ascher ist vollautomatisch und liefert konsistente Ergebnisse unabhängig vom Fähigkeitsniveau des Benutzers. Es kann den Typ der Ätz-/Auswerteaufgabe, die Ätzrichtung und die Anzahl der Wiederholungen der Aufgabe angeben. Die Benutzeroberfläche der Maschine ist sehr intuitiv und ermöglicht eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheparametern. OXFORD 80 Ätzer/Ascher ist in der Lage, Ätz- und Ascheverfahren auf Schichten aus Siliziumwafern oder anderen mikrostrukturierten Materialien durchzuführen. Es kann sowohl eine einzelne als auch mehrere Schichten verarbeiten und unterstützt Funktionen wie Niederspannungsvorspannung und Mehrfachmaskenausrichtung. Zusätzlich nutzt es partikelfreie Gasquellen, um Verunreinigungen oder Beschädigungen des Substrats zu minimieren. 80 Ätzer/Ascher sind sehr zuverlässig und bieten eine überlegene Prozessreproduzierbarkeit bei hohem Durchsatz. Es ist mit einem einzigartigen Düsendesign ausgestattet und enthält Geräuschreduzierungsfunktionen, um die Lärmbelästigung in Laborumgebungen zu minimieren. Die Wartung der Maschine wird durch visuelle Indikatoren vereinfacht, die Techniker auf mögliche Probleme aufmerksam machen, sowie On-Board-Diagnosen zur Fehlerbehebung. Um die Konsistenz mit den verschiedenen Substraten zu gewährleisten, mit denen es arbeiten kann, enthält es auch ein Temperaturüberwachungssystem, um sicherzustellen, dass die Temperaturen für jeden Substrattyp nach der gewünschten Spezifikation geregelt werden. OXFORD 80 Ätzer/Ascher ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Gasen sowie regelbaren Gasströmen und HF-Leistungsstufen zu ätzen und zu aschen. Es unterstützt auch mehrere Wafer bei unterschiedlichen Temperaturen, was es zu einem geeigneten Werkzeug für die Prüfung neuer Materialien oder Geräte macht. Insgesamt sind 80 Ätzer/Ascher eine effiziente und zuverlässige Maschine für Ätz- und Ascheaufgaben. Es eignet sich für eine breite Palette von Substraten und Materialien und ist in der Lage, eine präzise Verarbeitung mit hohem Durchsatz. Es bietet eine überlegene Prozessreproduzierbarkeit und eine intuitive Benutzeroberfläche, die es zu einer guten Wahl für jedes Labor macht.
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