Gebraucht OXFORD 90 Plus #9060476 zu verkaufen

Hersteller
OXFORD
Modell
90 Plus
ID: 9060476
Wafergröße: 2"-8"
Weinlese: 1997
RIE System, 2"-8" Load lock and main process chamber (6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2) PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber) PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock) LEYBOLD Mechanical pumps PC & Monitor 1997 vintage.
OXFORD 90 Plus ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Nanostrukturierung und direkte Schreibätzanwendungen. Es wurde entwickelt, um extrem hohe Genauigkeit und Präzision für das ultrafeine Ätzen von Metall und nichtmetallischen Substraten zu erreichen. Es ist mit mehreren einzigartigen Eigenschaften ausgestattet, die es für Anwendungen wie MEMS-Herstellung, Mikrofluidik und Hochleistungs-Leiterplatten sehr geeignet machen. 90 Plus verwendet einen hochmodernen Impulsgenerator und eine digitale Leistungssteuerung, um eine hochgenaue und präzise Ätzung zu gewährleisten. Es ist so konzipiert, dass es mit zwei gängigen Modi arbeitet: LID (Laser Induced Direct Etching) und OHE (Optical Assisted Etching), mit denen Metalle sowie nichtmetallische Materialien wie Polymere, Halbleiter und Dielektrika geätzt werden können. Der OHE-Modus bietet im Vergleich zu herkömmlichen Ätztechniken deutlich höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der Kern von OXFORD 90 Plus ist das direkt schreibende Laserätzsystem, das mit UV-Lasern Muster direkt auf das Substrat ätzt. Der Fokus des Lasers ist sehr klein und das System bietet Präzision bis auf 1 bis 3 Nanometer. Dieses Maß an Genauigkeit ist ideal für die Schaffung von nanoskaligen Strukturen auf Metallen und einigen nichtmetallischen Materialien. 90 Plus ist auch mit mehreren anderen Funktionen ausgestattet, die seine Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit erhöhen. Es bietet einen modularen Aufbau, 4-Achsen-Scan-Fähigkeit und ein eingebautes Wafer-Handling-System für erhöhten Durchsatz. Es verfügt auch über eine vollständige Computersteuerung, so dass Benutzer schnell und einfach benutzerdefinierte Ätzmuster erstellen und Prozesseinstellungen remote verwalten können. OXFORD 90 Plus wurde umfassend in verschiedenen Ätzanwendungen getestet und validiert, was es zu einer zuverlässigen und vielseitigen Wahl für eine Vielzahl von Mikroherstellungsaufgaben macht. Das hochgenaue Ätzen und die präzise Wafer-Handhabung machen es zu einer idealen Wahl für Mikrofluidik, MEMS und Hochleistungs-Leiterplatten. Dank des modularen Aufbaus und der Computersteuerung eignet es sich für Produktionsprozesse mit hohem Durchsatz, und dank der lasergestützten Präzisionsätzung eignet es sich ideal für nanoskalige Ätzanwendungen.
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