Gebraucht OXFORD ICP 100 #293655612 zu verkaufen

OXFORD ICP 100
Hersteller
OXFORD
Modell
ICP 100
ID: 293655612
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD ICP 100 ist ein vollautomatischer, präziser Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um hochwertige Mikromuster, Leiterplatten und andere planare Mikrostrukturen herzustellen. Es kann mit bis zu drei verschiedenen Gasgemischen und bis zu 10 unabhängigen Gaskomponenten geätzt werden, was eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Der softwaregesteuerte Prozess ermöglicht es dem Anwender, eine Vielzahl von Parametern, einschließlich Ätzrate, Temperatur, Druck und Zeit, einzurichten. Das Gerät ist in der Lage, den Druck der Prozessgase und die Laserintensität auf ein hohes Maß an Genauigkeit zu steuern, was ein präzises Ätzen von Mikromustern ermöglicht. ICP 100 umfasst eine integrierte Computersteuerung, eine pneumatisch betätigte Vakuumkammer und eine manuelle Ventilsteuerung. Die Vakuumkammer ist mit Diffusionspumpen, Leitblechen und einem Vakuummessgerät ausgestattet, um eine gleichmäßige Ätzbearbeitung auch der kleinsten Funktionsgrößen zu gewährleisten. Das eingebaute Gasdrucküberwachungssystem ermöglicht es dem Benutzer, Gasdrücke mit Genauigkeit einzustellen. Die Ätzkammer des OXFORD ICP 100 wird mit einem speziell entwickelten Herd beheizt, der Ätzverschleiß während der Verarbeitung widersteht. Die Hauptkammertemperatur ist einstellbar, um die Prozessgleichförmigkeit zu maximieren und die Ätzrate zu steuern. Das Gerät ist außerdem mit einer Ätzplatte ausgestattet, die so ausgelegt ist, dass sie den hohen Temperaturen und Drücken während des Ätzvorgangs standhält. Die Laserquelle in ICP 100 soll zur hohen Kontrolle und Genauigkeit der Maschine beitragen. Es verwendet zwei verschiedene Wellenlängen - eine violette 450nm und eine grüne 532nm -, um die Gleichmäßigkeit des Prozesses zu optimieren und eine feinkörnige Kontrolle der Ätzparameter zu ermöglichen. Außerdem wird der Laser mit einem Verschlusswerkzeug angetrieben, wodurch eine gleichmäßige Ätzbearbeitung gewährleistet ist. Insgesamt hat die Laserquelle von OXFORD ICP 100 die Fähigkeit, auf einem genauen 150dpmm geätzten Muster mit minimalem Unterschnitt zu ätzen. ICP 100 enthält auch eine leistungsstarke Computerschnittstelle. Diese benutzerfreundliche Software ermöglicht es dem Benutzer, alle notwendigen Parameter an den Prozesscontroller zu programmieren, zu überwachen und weiterzuleiten. Darüber hinaus bietet das Asset eine Reihe von Parametern und Einstellungen, die geändert werden können, einschließlich Ätzdruck, Temperatur und Zeit. Die Software bietet auch eine programmierbare Dithering-Funktion, die die Ätzauflösung auf bis zu 200 dpi erhöht. OXFORD ICP 100 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich der Herstellung von Mikroelektronik und Leiterplatten. Seine Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit macht es zum idealen Werkzeug zum Ätzen auf Substraten mit Oberflächen bis zu 0,2 mm. ICP 100 ist eine ideale Wahl für Präzisionsätzanwendungen.
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