Gebraucht OXFORD INSTRUMENTS Opal #293759975 zu verkaufen
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ID: 293759975
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2015
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) system, 4"
Mass Flow Controller 1: H2 50 SCCM
Mass Flow Controller 2: NH3 100 SCCM
Mass Flow Controller 3: N2 100 SCCM
Mass Flow Controller 4: O2 100 SCCM
Mass Flow Controller 5: Ar 100 SCCM
Substrate holder: 240 mm resistance-heated (up to 400°C)
Remote Plasma source: 300 W Capacity at 13.56 MHz (RF generator and automatic matching unit)
Metal precursors delivery: (2) Bubblers and (2) vapor drawns
Gas lines: Non-toxic gas lines (3 lines) and toxic gas lines (2 lines) with individual Mass Flow Controller (MFC)
Water delivery kit
Ozone generator
Vacuum gauges: 1000mT CM gauge and Penning
Pumping pipe work: 40 mm (heating kit)
Materials tested: Al2O3 films only with Ar, O2, TMA
TMA Precursor
Silicon wafer
PC
Operating system: Windows 7 Pro
2015 vintage.
OXFORD INSTRUMENTS Opal ist eine hochmoderne Plasmaätzer/Ascher-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Verarbeitungsfunktionen für eine breite Palette von Anwendungen in der Halbleiter-, MEM- und Nanotechnologie-Industrie bereitzustellen. Dieses innovative System kombiniert modernste Technologie mit Präzisionskontrolle, um ein hochgenaues und gleichmäßiges Ätzen und Aschen verschiedener Materialien zu erreichen, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forschungs- und Entwicklungslabore sowie Produktionsumgebungen macht. Opal-Einheit verwendet eine hochdichte Plasmaquelle, um ein energetisches Plasma zu erzeugen, das Material von Substraten durch eine Kombination von chemischen und physikalischen Prozessen effektiv entfernt. Diese Plasmaquelle wird von fortschrittlicher Hochfrequenz (RF) -Plasmatechnologie angetrieben, die eine präzise Abstimmung von Plasmaparametern wie Dichte, Temperatur und Ionenenergie ermöglicht, um die Ätz- und Ascheleistung auf verschiedenen Materialien zu optimieren. Eines der Hauptmerkmale von OXFORD INSTRUMENTS Opal ist die erweiterte Prozesssteuerung, die es Anwendern ermöglicht, wichtige Prozessparameter in Echtzeit zu definieren und zu überwachen. Die Maschine ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die Zugriff auf eine breite Palette von Prozessrezepten bietet und eine einfache Anpassung von Prozessparametern an spezifische Anforderungen ermöglicht. Dieses Kontrollniveau ermöglicht es Anwendern, hohe Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit zu erzielen, wodurch eine konsistente Ergebnismenge nach dem Batch gewährleistet wird. Opal-Werkzeug bietet auch ein hohes Maß an Flexibilität, mit der Fähigkeit, verschiedene Substratgrößen und Typen zu verarbeiten, einschließlich Silizium, Glas, III-V-Materialien, Polymere und mehr. Das Asset ist mit einem vielseitigen Wafer-Spannfutter-Design ausgestattet, das verschiedene Wafergrößen und -formen aufnimmt und sowohl einzelne Wafer- als auch Batch-Verarbeitungsmodi verarbeiten kann, um den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden. In Bezug auf Ätzfähigkeiten, OXFORD INSTRUMENTS Opal Modell zeichnet sich durch hohe Ätzraten und Selektivität auf einer breiten Palette von Materialien, so dass es ideal für Anwendungen wie Mustertransfer, Materialabtrag und Geräteherstellung. Das Gerät ist in der Lage, hoch anisotrope Ätzprofile mit hohen Seitenverhältnissen zu produzieren, wodurch komplexe Mikrostrukturen mit hoher Präzision und Treue hergestellt werden können. Darüber hinaus ist das Opal-System mit fortschrittlichen Aschemöglichkeiten zur Entfernung organischer Verunreinigungen und Photoresistreste von Substraten ausgestattet. Die hochdichte Plasmaquelle des Geräts zerlegt effektiv organische Materialien und flüchtige Verbindungen und hinterlässt saubere und rückstandsfreie Oberflächen ohne Beschädigung des darunter liegenden Substrats. Insgesamt ist OXFORD INSTRUMENTS Opal eine hochmoderne Plasmaätz-/Aschermaschine, die beispiellose Leistung, Präzisionskontrolle und Prozessflexibilität für eine breite Palette von Nanotechnologie-Anwendungen bietet. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und seinem innovativen Design ist Opal Tool ein leistungsstarkes Werkzeug für Forscher und Hersteller, die qualitativ hochwertige und zuverlässige Verarbeitungsergebnisse in ihren Halbleiter- und Mikrofabrikationsprozessen erzielen möchten.
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