Gebraucht OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus #293824941 zu verkaufen

OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ist eine hochentwickelte Plasmaätz-/Aschemaschine, die für eine präzise und effiziente Verarbeitung einer Vielzahl von Proben in Forschungs- und Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Das PlasmaLab 80 Plus basiert auf der renommierten Expertise von OXFORD INSTRUMENTS in der Plasmabearbeitungstechnik und verfügt über modernste Funktionen und innovative Designelemente, um überlegene Leistung und Flexibilität zu bieten. Im Zentrum von OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus steht die hochdichte Plasmaquelle, die ein gleichmäßiges und stabiles Plasma erzeugt, das hochanisotrope Ätz-/Ascheprofile mit außergewöhnlicher Selektivität und Prozesskontrolle liefert. Das System ist mit mehreren Gaseinspritzöffnungen und einer ausgeklügelten Gaszufuhreinheit ausgestattet, so dass Benutzer die Prozessparameter anpassen können, um die gewünschten Ätzeigenschaften für verschiedene Materialien und Strukturen zu erreichen. PlasmaLab 80 Plus verfügt über eine geräumige Prozesskammer mit einer großen Wafer-Handhabungsfähigkeit, die die Verarbeitung mehrerer Proben in einem einzigen Lauf für Anwendungen mit hohem Durchsatz ermöglicht. Die Kammer ist mit fortschrittlichen Systemen zur Temperaturregelung und Druckregelung ausgestattet, um die Prozessbedingungen während des gesamten Ätz-/Aschezyklus auf optimalem Niveau zu halten und reproduzierbare Ergebnisse und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über die Probenoberfläche zu gewährleisten. Eine der Hauptstärken von OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ist die fortschrittliche Prozessüberwachung und -steuerung. Die Maschine ist mit einer umfassenden Suite von In-situ-Diagnosewerkzeugen ausgestattet, einschließlich optischer Emissionsspektroskopie (OES), Massenspektrometrie und Laserinterferometrie, die eine Echtzeit-Überwachung der Plasmaparameter und der Gaschemie während der Verarbeitung ermöglicht. So können Anwender die Prozessbedingungen on-the-fly optimieren und Anpassungen vornehmen, um die gewünschten Ätzergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist das PlasmaLab 80 Plus vollständig in die intuitive Prozesssteuerungssoftware OXFORD INSTRUMENTS integriert, die eine benutzerfreundliche Oberfläche für die Einrichtung von Prozessrezepten, die Überwachung der Prozessparameter und die Analyse der Daten in Echtzeit bietet. Darüber hinaus bietet die Software erweiterte Datenerfassungs- und Analysetools für eine umfassende Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle. Neben seinen fortschrittlichen Fähigkeiten im Plasmaätzen/-aschen kann OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus einfach für eine Vielzahl von Anwendungen konfiguriert werden, darunter reaktives Ionenätzen (RIE), tiefes Siliziumätzen, Polymerentfernung und Oberflächenmodifizierung. Das Werkzeug unterstützt eine Vielzahl von Prozessgasen, wie CF4, SF6, O2, Ar und Cl2, so dass es für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien geeignet ist, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Metalle, Polymere und Verbundhalbleiter. Insgesamt ist PlasmaLab 80 Plus ein vielseitiges und leistungsstarkes Plasmaätzer/Ascher-Asset, das unübertroffene Leistung, Flexibilität und Kontrolle für anspruchsvolle Forschungs- und Produktionsanwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, der intuitiven Softwareschnittstelle und dem robusten Design ist OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ein unverzichtbares Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu erzielen und Innovationen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, der Entwicklung von MEMS/NEMS und der fortschrittlichen Materialforschung zu beschleunigen.