Gebraucht OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus #293824942 zu verkaufen

OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ist eine fortschrittliche Plasmaätz-/Aschemaschine, die für Präzisionsätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterindustrie und anderen Werkstoffforschungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses leistungsstarke Tool umfasst modernste Technologien, um eine überlegene Prozesskontrolle, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit für eine breite Palette von Materialien und Gerätestrukturen zu gewährleisten. Der PlasmaLab 80 Plus Eigenschaften eine vielseitige Doppelquelle RF Plasmasystem, das sowohl das Ätzen als auch die gasphasigen Oberflächenänderungsprozesse ermöglicht. Seine fortschrittliche Plasmaerzeugungseinheit nutzt eine Kombination aus HF-Stromversorgungen und passenden Netzwerken, um hochdichte Niederdruckplasmen zu schaffen, die gut zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien geeignet sind, darunter Silizium, III-V-Verbindungen, Metalle, Dielektrika und Polymere. Einer der Hauptvorteile von OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ist seine Dual-Source-Konfiguration, die den Einsatz verschiedener Gase und Prozesschemikalien ermöglicht, um eine breite Palette von Ätz- und Ascheergebnissen zu erzielen. Die Maschine ist mit mehreren Gaseingängen und Massenstromreglern ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Zusammensetzung und der Durchflussraten von Prozessgasen ermöglichen. Diese Flexibilität ermöglicht es Anwendern, die Plasmachemie auf spezifische Prozessanforderungen wie Ätzselektivität, Seitenwandprofilsteuerung und Ätzratenoptimierung abzustimmen. PlasmaLab 80 Plus verfügt über ein Hochleistungselektrostatisches Spannfutter (ESC) mit Temperaturkontrollfunktionen, das eine ausgezeichnete Substratstabilität und Gleichmäßigkeit während der Verarbeitung bietet. Der ESC kann eine Vielzahl von Substratgrößen und -typen aufnehmen, einschließlich Wafer, Stücke und unregelmäßig geformte Proben. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine RIE-Konfiguration (Reactive Ion Etching) mit einem speziellen HF-Bias-Netzteil zur präzisen Steuerung von Ionenenergie und Direktionalität, was tiefe und anisotrope Ätzfunktionen ermöglicht. OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus ist mit einer ausgeklügelten Prozesssteuerung ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung und Anpassung wichtiger Prozessparameter wie Gasflussraten, Druck, HF-Leistung und Temperatur ermöglicht. Die Modellsoftware bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche für Rezepterstellung, Datenprotokollierung und Prozessoptimierung, so dass Benutzer Rezepte zwischen verschiedenen Werkzeugkonfigurationen oder Laboren einfach entwickeln und übertragen können. In Bezug auf die Leistung bietet PlasmaLab 80 Plus hohe Ätz- und Ascheraten, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie geringe Schäden an empfindlichen Materialien. Die erweiterten Endpunkterkennungsfunktionen des Geräts gewährleisten eine präzise Prozesskontrolle und konsistente Ergebnisse über mehrere Laufzeiten hinweg. Darüber hinaus tragen die automatisierten Reinigungs- und Wartungsroutinen des Tools dazu bei, Ausfallzeiten zu minimieren und eine optimale Systemleistung im Laufe der Zeit sicherzustellen. Insgesamt ist OXFORD INSTRUMENTS PlasmaLab 80 Plus eine anspruchsvolle Plasmaätz-/Aschereinheit, die eine unübertroffene Prozesssteuerung, Flexibilität und Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie und der Werkstoffforschung bietet. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist das PlasmaLab 80 Plus ein unverzichtbares Werkzeug für Forscher und Ingenieure, die präzise und zuverlässige Ätz- und Ascheergebnisse erzielen möchten.