Gebraucht OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus #293586570 zu verkaufen
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ID: 293586570
Reactive Ion Etcher (RIE)
ALCATEL ACT-600T Turbo pump controller
Power: 208 VAC, 3 Phase.
OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus ist ein leistungsstarker Plasmaätzer und Ascher für eine breite Palette von Forschungs- und Produktionsanwendungen. Es verwendet mehrere Gaszufuhrsysteme, um einen flexiblen, hoch kontrollierten Ätzprozess bereitzustellen, der sowohl für das Nass- als auch für das Trockenätzen geeignet ist. Sie ist darauf ausgelegt, in kürzester Zeit stets präzise und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern. Plasmalab 800 Plus eignet sich für eine Vielzahl von Substraten, darunter Silizium, Glas, Keramik, Siliziumkarbid und Polymermaterialien. Das System unterstützt auch das Plasmaätzen von Metallen und anderen Materialtypen. Der Ätzer bietet ein beeindruckendes Maß an Kontrolle und Skalierbarkeit, was ein optimales Management verschiedener Ätzstufen für unterschiedliche Ätzanforderungen ermöglicht. OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus verfügt über eine breite Palette fortschrittlicher Ätzwerkzeuge, wie einen Plasma Source Actuator (PSA), eine endo-thermische Ätzstation mit DC-Vorspannung, vorprogrammierte Bühnenbewegungen, eine VCR-Schnittstelle zur Feinabstimmung von Zeitabläufen, eine Schnittstelle für die Fernsteuerung, ein Darüber hinaus ist das System sowohl zum Niederdruck- als auch zum Hochdruckätzen in der Lage und bietet Anwendern eine feine Kontrolle über Prozessparameter. Die benutzerfreundliche Software-Oberfläche von Plasmalab 800 Plus verfügt über eine Fülle von Funktionen, wie einen vorprogrammierten Timer, Rezeptsteuerung und periodische Prozesssteuerung. Dies ermöglicht eine vollständige Wiederholbarkeit des Ätzprozesses, so dass Benutzer konsistente Ergebnisse mit höherer Effizienz erzielen können. Darüber hinaus bietet OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus eine umfangreiche Prozessüberwachung einschließlich Temperatur- und Druckmessungen von jedem einzelnen Werkzeug sowie Feedback vom Plasma Source Actuator (PSA). Darüber hinaus verfügt Plasmalab 800 Plus über ein innovatives, modulares Design, das zusätzliche Hardware-Upgrades ermöglicht, um seine Fähigkeiten zu erweitern. Letztlich bietet OXFORD INSTRUMENTS Plasmalab 800 Plus eine hochmoderne Ätzlösung, die sich leicht an die Bedürfnisse verschiedener Forschungs- und Produktionsanwendungen anpassen lässt.
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