Gebraucht OXFORD NGP-1000 #293751615 zu verkaufen

OXFORD NGP-1000 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dieses Tool kombiniert modernste Technologie mit Präzisionssteuerung, um hervorragende Prozessleistung und Wiederholbarkeit zu liefern. OXFORD NGP1000 ist ein vielseitiges Werkzeug, das eine breite Palette von Wafergrößen und Materialien aufnehmen kann, so dass es für verschiedene Forschungs- und Produktionsumgebungen geeignet ist. Herzstück von NGP-1000 ist seine innovative Prozesskammer, die über eine Hochleistungs-Plasmaquelle verfügt, die verschiedene reaktive Spezies erzeugt, die für Ätz- und Ascheprozesse erforderlich sind. Die Plasmaquelle wird typischerweise durch eine Kombination von Gasen wie Sauerstoff, Fluor und Argon erzeugt, die mit gesteuerten Strömungsgeschwindigkeiten in die Kammer eingespeist werden. Diese Gase werden dann mit Hochfrequenz (RF) Energie erregt, um ein hochdichtes Plasma zu schaffen, das Halbleitermaterialien mit hoher Präzision ätzen und aschen kann. NGP1000 verfügt auch über erweiterte Prozesskontrollfunktionen mit Funktionen wie Endpunkterkennung, Druckkontrolle und Temperaturregelung. Die Endpunkterkennung ist ein entscheidendes Merkmal, mit dem das System genau bestimmen kann, wann der Ätz- oder Ascheprozess abgeschlossen ist, wodurch ein minimales Überätzen gewährleistet und die Integrität des Halbleiterbauelements erhalten bleibt. Druckregelmechanismen helfen, die optimalen Druckbedingungen innerhalb der Prozesskammer aufrechtzuerhalten, während die Temperaturregelung dafür sorgt, dass die Wafertemperatur in einem bestimmten Bereich bleibt, um thermische Schäden zu verhindern. Einer der Hauptvorteile von OXFORD NGP-1000 ist der hohe Durchsatz, der es Anwendern ermöglicht, mehrere Wafer in einem einzigen Lauf zu verarbeiten. Dies wird durch fortschrittliche Wafer-Handling-Systeme erreicht, die ein effizientes Be- und Entladen von Wafern gewährleisten, Prozessausfallzeiten minimieren und die Produktivität maximieren. Darüber hinaus ist OXFORD NGP1000 mit intuitiven Benutzeroberflächen und Softwaresteuerungen ausgestattet, die das Einrichten und Überwachen von Verarbeitungsrezepten vereinfachen und somit sowohl für erfahrene Forscher als auch für neue Benutzer ideal sind. NGP-1000 ist auch mit Blick auf Flexibilität konzipiert, bietet eine Reihe von Prozess-Anpassungsoptionen für verschiedene Ätz- und Veraschungsanforderungen. Anwender können verschiedene Prozessparameter wie Gasdurchflussraten, HF-Leistungsstufen und Prozessdruck einstellen, um eine präzise Steuerung der Ätz- und Ascheprozesse zu erreichen. Darüber hinaus kann die Einheit mit verschiedenen Gaseingangssystemen und Substrathaltern ausgestattet werden, um eine Vielzahl von Materialien und Substraten zu unterstützen. In Bezug auf Sicherheit und Zuverlässigkeit verfügt NGP1000 über robuste Sicherheitsverriegelungen und Überwachungssysteme, um jederzeit einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über integrierte Diagnosetools und Fernüberwachungsfunktionen, die eine proaktive Wartung und Fehlerbehebung ermöglichen, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Werkzeugverfügbarkeit zu maximieren. Insgesamt ist OXFORD NGP-1000 ein hochentwickeltes Etcher/Asher-Asset, das beispiellose Leistung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet.