Gebraucht OXFORD NPT1000 PE #293597503 zu verkaufen

OXFORD NPT1000 PE
Hersteller
OXFORD
Modell
NPT1000 PE
ID: 293597503
Reactive Ion Etcher (RIE) Cluster system.
OXFORD NPT1000 PE ist ein fortschrittlicher, transportabler Ätzer/Aser, der für eine Vielzahl von Substraten, einschließlich Polyimidsubstraten, und für nasse oder trockene Ätzanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät verfügt über eine robuste Stahlkonstruktion, die eine stabile Niedertemperatur-Plattform für zuverlässige Ätzleistung bietet. NPT1000 PE verfügt über einen Temperaturbereich von bis zu + 160 ° C mit einer Hochleistungsheizung, die die Ätztemperatur schnell stabilisiert. Die Präzisionstemperaturregelung erfolgt über eine digitale Anzeige, die die aktuelle Temperatureinstellung anzeigt und Präzisionssollpunkte in einem ° C-Schritt enthält. Der Ätzprozess kann mit dem benutzerfreundlichen Bedienfeld und der einzigartigen optischen Sensorgenauigkeit, die UV-C- und UV-Lichtquellen zur genauen Messung des Ätzprozesses verwendet, präzise gesteuert werden. Dies ermöglicht präzise Variationen von Ätzzeiten und Temperaturen, um äußerst zuverlässige Ätzergebnisse zu erzielen. Die Arbeitsstation verfügt zudem über einen Pulsed-Etch Mode, der für höhere Temperaturen (> 180 ° C) Ätzprozesse ausgelegt ist. Die Verwendung von gepulsten Ätzmustern hilft, die Ätztemperatur zu reduzieren, die Prozesssicherheit zu erhöhen und den Durchsatz zu verbessern. OXFORD NPT1000 PE ist extrem benutzerfreundlich und einfach zu installieren und zu warten, mit mehrsprachigem Benutzer- und Service-Support. Die Machine Insight™ (MI) Suite zur Überwachung der Geräteleistung und des Ätzprozesses bietet zusätzliche Unterstützung für die Anwendungssoftware Imaging Device und Machine Insight. Die MI-Suite wurde entwickelt, um den Ätzprozess zu beobachten und dem Benutzer Feedback zu geben, basierend auf dem aktuellen Status der Maschine. Diese umfassende vorausschauende Software-Suite kann dazu beitragen, Prozessprobleme zu identifizieren und schnellstmöglich Korrekturmaßnahmen zu ergreifen, was Zeit und Ressourcen spart. NPT1000 PE verfügt über eine Vielzahl integrierter Optionen und Funktionen, einschließlich eines Ionenliftstiftmechanismus, der hilft, Substrate während des Ätzprozesses an Ort und Stelle zu halten, einer Anti-Neigungsplatte zur Vermeidung von Probenfehlstellungen und einem doppelten Gasregelkrümmer, der die gleichzeitige Verwendung von trockenen und nassen Prozessen ermöglicht. Der Ätzprozess kann auch mit einem optionalen Process Automation Package (PAP) automatisiert werden, das optimierte Rezepte für eine Vielzahl von Ätzprozessen liefert. Neben seinem benutzerfreundlichen, transportablen Design ist OXFORD NPT1000 PE für einen sicheren und effizienten Betrieb ausgelegt. Das Gerät ist mit Übertemperaturschutz- und Prozesssicherheitssystemen ausgestattet, die die Umweltverschmutzung minimieren und die Bedienersicherheit maximieren sollen. Dieser Ätzer/Aser ist eine ideale Wahl für das schnelle, hochpräzise Ätzen von Polyimidsubstraten und einer Vielzahl anderer Substrate.
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