Gebraucht OXFORD Plasmalab 100+ ICP 380 #293768915 zu verkaufen

ID: 293768915
Wafergröße: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8" Process: Ar and O2 Hine robot 9-Slots cassette module Gases: O2, CHF3, CF4, SF6, Ar, C4F8, BCL3, CL2 Power supply: 415 V, 3 Phase.
OXFORD Plasmalab 100 + ICP 380 ist eine branchenführende Plasmaätz- und Aschemaschine, die einzigartig entwickelt wurde, um Präzisionskontrolle, niedrige Betriebskosten und Flexibilität während des Betriebs zu bieten. Dieses System verfügt über eine 380mm große Kammer und einen Tisch mit 6 "Durchmesser, der bis zu 40 kg Last unterstützen kann. Sein einzigartiges Druck-Körper-Globus-Design verfügt über eine zum Patent angemeldete Resonator-Technologie, die ein einheitliches Plasma mit gleichmäßiger Energieverteilung bietet und schärfere Linien und glattere Profile beim Ätzen ermöglicht. Die HF- und DC-Netzteile des Geräts sind beide einstellbar, was es zu einem der vielseitigsten Ätz- oder Aschesysteme auf dem Markt macht. Die einstellbare HF-Stromversorgung ermöglicht den PE- und ICP-Betrieb bei bis zu 100 Watt und eine On-the-Fly-Frequenzabstimmung von bis zu 40kHz. Das einstellbare DC-Netzteil verfügt über eine kontinuierliche Maximalleistung von 30 Watt und eine On-the-Fly-Steuerung von bis zu 555 Volt. Damit ist OXFORD PLASMALAB 100 ICP 380 eine gute Wahl sowohl für einschichtige als auch mehrschichtige Prozesse. PLASMALAB 100-ICP 380 kommt auch mit einem intuitiven interaktiven Touchscreen, der Bedienung und Setup zu einem Kinderspiel macht. Diese grafische Steuerung ermöglicht es Benutzern, Ätzparameter einfach in Echtzeit zu überwachen und anzupassen sowie die Innentemperaturen der Kammer im Auge zu behalten, die mit der Kammeransicht und den Wärmebildfunktionen gut sichtbar sind. Der benutzerfreundliche Touchscreen bietet zudem detaillierte Zusammenfassungen des Ätzprozesses mit detaillierten Graphen und Datenerfassungsfunktionen zur Genauigkeitskontrolle. Plasmalab 100 + ICP 380 bietet zudem zuverlässige Sicherheitsmaßnahmen zum Schutz von Anwendern und Geräten. Zu den Standardsicherheitsmerkmalen gehören eine Druckverriegelung, eine Kammer-in-Vakuum-Druckregelung und ein Korrosionsschutz-Design. Darüber hinaus wird die Pumpzeit der Maschine durch die eingebaute Sicherheitslogik verwaltet, um sicherzustellen, dass die Kammer ordnungsgemäß evakuiert wird, bevor die HF-Leistung aktiviert wird. Insgesamt ist OXFORD PLASMALAB 100-ICP 380 eine hervorragende Laserätz- und Ascheplattform, die eine hervorragende Kontrolle, geringe Kosten und umfangreiche Sicherheitsmaßnahmen bietet. Dank der einstellbaren Netzteile, des intuitiven Touchscreens und der dynamischen Funktionen ist es eine gute Wahl für Präzisionsprozesse und dynamische Anwendungen.
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