Gebraucht OXFORD Plasmalab 100+ ICP 380 #293769565 zu verkaufen
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ID: 293769565
Wafergröße: 6"-8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"-8"
X20 PLC Upgraded
Process: Ar, O2
Hine robot
25-Slots cassette module
Gases: O2, CHF3, CF4, SF6, Ar, C4F8, BCL3, CL2
Power supply: 415 V, 3 Phase.
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