Gebraucht OXFORD Plasmalab 100 Plus #293637903 zu verkaufen

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ID: 293637903
ICP Reactive Ion Etcher (RIE) (6) Gas lines Gases: CH4, H2 ICP Source, 3 kW RF Generator, 600 W Does not include turbo pump.
OXFORD Plasmalab 100 Plus ist ein Mehrfrequenz-, mittelgroßes induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -Ätzer/Ascher-Gerät der zweiten Generation. Dieser ICP-Ätzer/Ascher ist in der Lage, präzises Ätzen auf verschiedenen Materialien zu liefern, darunter Polysilizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Photoresists, Metalloxide und Metallnitride. Es ist mit optimalen Prozessbedingungen wie Hochdruck, niedriger Leistung und schnellen Zykluszeiten ausgelegt. Das ICP-Ätzverfahren ist stark wiederholbar und kann hochwertige Oberflächen herstellen. Plasmalab 100 Plus verfügt über einen integrierten Mehrfrequenzgenerator mit einstellbarer Frequenz zwischen 15 MHz und 40 MHz. Dies bietet maximale Flexibilität beim Ätzen verschiedener Materialien in verschiedenen Medien. Die mit dem Ätzer/Ascher versorgte ICP-Stromquelle kann bis zu 50 Watt Leistung liefern und ermöglicht das Ätzen von Materialien, die widerstandsfähiger sind als typische Materialien wie die oben genannten. Darüber hinaus verwendet das System einen Gasstromregler mit einer einstellbaren Gasströmungsrate, die eine Vielzahl von Ätzrezepten ermöglicht. OXFORD Plasmalab 100 Plus kommt auch mit einer integrierten Roboter-Handbedienung ausgestattet, die eine große Arbeitstischgröße von 218 mm x 406 mm hat. Diese Funktion bietet maximale Flexibilität für das Ätzen verschiedener Formen und Größen von Materialien. Eine integrierte Wärmebildkamera kann auch in Verbindung mit der Stufe zur Messung der Temperatur des Materials beim Ätzen verwendet werden. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe von Software-Tools für benutzerdefinierte Prozessrezepte, Datenerfassung und Reporting. Plasmalab 100 Plus ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie einer Verriegelungsmaschine und einem Auto-Off-Timer ausgestattet, die den Bediener vor den hohen Temperaturen, Spannungen und Drücken im Zusammenhang mit dem Ätzprozess schützen. Das Werkzeug umfasst mehrere weitere Sicherheitsmerkmale wie eine geerdete Kammer, Schutzplatten sowie Gas- und Vakuum-Sicherheitsabsperrventile. Insgesamt ist der OXFORD Plasmalab 100 Plus Ätzer/Ascher ein außergewöhnliches Gerät, das maximale Flexibilität und zuverlässige Ätzleistung bietet. Sein überlegenes Design und robuste Komponenten machen es zu einer großen Wahl für fortschrittliche Materialbearbeitung, Forschung und Entwicklung.
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